[发明专利]一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池领域，更具体的说，涉及一种双制绒槽位的槽 式多晶硅片制绒装置及方法。

背景技术

太阳能是清洁、永无止尽的可再生能源，以半导体硅为材料制作的PN 结型太阳能电池技术得到了蓬勃发展，但是太阳能光伏技术要实现平价上 网、实现更加普及应用，进一步降低光伏发电成本势在必行。

从光伏电池制造领域来讲，持续降低制造成本是降低光伏发电成本的 重要途径之一。依据规模经济理论，在特定时期内如果能够稳定地制造出 更多的产品，则产品单位成本下降，利润提升。

本发明在原有单槽式多晶制绒的基础上进行改造，实现双槽制绒，大 大提升了槽式制绒设备的产能，从而降低制造成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒 装置及方法，以提升槽式制绒设备的产能，从而降低制造成本。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置，包括依次设置的 1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#酸槽、6#水槽、7#酸 槽、8#水槽和9#喷淋槽，以及1#机械臂和2#机械臂，所述1#机 械臂运行于1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6# 水槽上方，所述2#机械臂运行于6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9# 喷淋槽上方。

所述1#制绒槽和2#制绒槽的结构、大小和体积均相同。

所述6#水槽为1#机械臂和2#机械臂的共用槽位。

上述双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置的使用方法包括以 下步骤：

(1)1#机械臂抓取硅片从上料位拉入1#制绒槽进行制绒，1# 制绒槽制绒的过程中，1#机械臂从上料位将下一批硅片从上料位 拉入2#制绒槽进行制绒；2#制绒槽制绒过程中，1#机械臂将1#制 绒槽内制绒完毕的硅片依次拉入3#水槽进行清洗，5#碱槽进行碱 洗，6#水槽进行清洗；1#机械臂将硅片拉入6#水槽后返回上料位 将硅片拉入1#制绒槽，然后将2#制绒槽内制绒完毕的硅片依次拉 入4#水槽进行清洗，5#碱槽进行碱洗，6#水槽进行清洗；1#机械 臂将硅片拉入6#水槽后返回上料位将硅片拉入2#制绒槽，此后循 环往复进行上述步骤；

(2)2#机械臂将在6#水槽内清洗完成的硅片依次拉入7#酸 槽、8#水槽和9#喷淋槽。

步骤(1)中硅片在制绒槽内制绒完成时1#机械臂刚好完成 另一制绒槽内硅片放置并返回至制绒完成的硅片的抓取位置。

双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒方法，其特征在于：制绒溶液 为氢氟酸、水、硝酸混合物，氢氟酸比例在4wt％-7wt％之间，硝酸比例为 30wt％-50wt％之间，反应时间为300-400秒，反应温度为10℃。

本发明技术方案所带来的有益效果如下：

本发明通过双工艺槽位进行制绒，提升了设备产能，降低了 制造成本；通过进料方式、药液溶度及工艺时间的匹配设计使制 绒工艺可控，使硅片在制绒槽、碱槽不出现制绒结束延时等待现 象。

附图说明

图1是原单槽制绒工艺的槽位结构示意图。

图2是本发明双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置的结构示意 图。

具体实施方式

下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。

图1所示是原有的单槽式制绒方式的槽位结构示意图，包括1#槽位制 绒槽、2#槽位水槽、3#槽位碱槽、4#槽位水槽、5#槽位酸槽、6#槽位水槽、 7#槽位喷淋槽、1#机械臂以及2#机械臂，其中4#槽位水槽为1#机械臂和 2#机械臂的共用槽位。整个制绒过程中，1#机械臂将制绒筐从上料位拉进 1#制绒槽进行制绒，制绒结束后1#机械臂将制绒筐拉进2#水槽进行清洗， 清洗结束后1#机械臂将制绒筐拉进3#碱槽清洗，碱洗结束后1#机械臂将制 绒筐拉进4#水槽清洗，然后1#机械臂回到上料端拉另一筐硅片进入1#制绒 槽进行制绒；4#水槽清洗完毕后，2#机械臂将制绒筐拉入5#酸槽进行清洗， 酸槽清洗完毕后2#机械臂将制绒筐拉入6#水槽进行清洗，6#水槽清洗完毕 后2#机械臂将制绒筐拉入7#喷淋槽进行清洗。