[发明专利]一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置及方法

权利要求书

1.一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置，其特征在于， 包括依次设置的1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽、 7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽，以及1#机械臂和2#机械臂，所述1#机械臂 运行于1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽上方，所 述2#机械臂运行于6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽上方。

2.根据权利要求1所述的双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装 置，其特征在于，所述1#制绒槽和2#制绒槽的结构、大小和体积均 相同。

3.根据权利要求1所述的双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装 置，其特征在于，所述6#水槽为1#机械臂和2#机械臂的共用槽位。

4.一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒方法，其特征在于，采 用权利要求1、2或3所述的装置，包括以下步骤：

(1)1#机械臂抓取硅片从上料位拉入1#制绒槽进行制绒，1#制绒槽 制绒的过程中，1#机械臂从上料位将下一批硅片从上料位拉入2#制绒槽进 行制绒；2#制绒槽制绒过程中，1#机械臂将1#制绒槽内制绒完毕的硅片依 次拉入3#水槽进行清洗，5#碱槽进行碱洗，6#水槽进行清洗；1#机械臂将 硅片拉入6#水槽后返回上料位将硅片拉入1#制绒槽，然后将2#制绒槽内制 绒完毕的硅片依次拉入4#水槽进行清洗，5#碱槽进行碱洗，6#水槽进行清 洗；1#机械臂将硅片拉入6#水槽后返回上料位将硅片拉入2#制绒槽，此后 循环往复进行上述步骤；

(2)2#机械臂将在6#水槽内清洗完成的硅片依次拉入7#酸槽、8#水 槽和9#喷淋槽。

5.根据权利要求4所述的双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒方 法，其特征在于，步骤(1)中硅片在制绒槽内制绒完成时1#机械臂 刚好完成另一制绒槽内硅片放置并返回至制绒完成的硅片的抓取位置。

6.根据权利要求4所述的双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒方 法，其特征在于：制绒溶液为氢氟酸、水、硝酸混合物，氢氟酸比例在 4wt％-7wt％之间，硝酸比例为30wt％-50wt％之间，反应时间为300-400秒， 反应温度为10℃。