[发明专利]一种含氚老化样品中微量3He定量测定的系统及方法

权利要求书

1.一种含氚老化样品中微量³He定量测定的系统，其特征在于，该系统包括气源部分、测量部分和真空部分，其中气源部分包括提供标定气源的³He床、待测³He样品；测量部分包括定量标定容器、气体膨胀容器、微漏孔装置、压力传感器及四极质谱仪，其中气体膨胀容器的容积是定量标定容器容积的1000～10000倍；真空部分主要包括真空泵，该真空泵对测定系统抽真空及辅助四极质谱仪进样；该系统包含阀门V1、V2、V3、V4、V5、V6、V7、V8、V9；

所述³He床通过四通分别与真空泵、定量标定容器、压力传感器连接，其中定量标定容器为“T”字型结构，该定量标定容器通过阀门V5所在管路与气体膨胀容器连接；定量标定容器与四极质谱仪连通的管路包括第一测量管路和第二测量管路，其中第一测量管路是阀门V3所在管路，第二测量管路是阀门V2及微漏孔装置所在管路；气体进样压力不经过微漏孔装置即可满足四极质谱仪进样要求时，直接通过第一测量管路进行³He测定；

所述微漏孔装置包括两个接管、接头及通气细管，该两个接管分别与四极质谱仪、阀门V2相适配，并且该两个接管通过接头及密封垫密封连接，两个接管径向中心位置处具有贯穿的通孔，该通孔内设置有一个通气细管，该通气细管的中心设置有直径为1～100μm贯穿的微孔，³He测定过程中可根据四极质谱仪对进气压力要求及进样气体压力不同选择不同直径微孔的微漏孔装置，即更换不同漏率的微漏孔装置；

所述气源部分还包括除杂气床，该除杂气床通过阀门V1所在管路与待测³He样品连通，且通过阀门V4所在管路与定量标定容器连通，通过V2或V3所在管路与四极质谱仪连接。

2.根据权利要求1所述的一种含氚老化样品中微量³He定量测定的系统，其特征在于，所述除杂气床为ZrC球床。

3.根据权利要求1所述的一种含氚老化样品中微量³He定量测定的系统，其特征在于，所述通气细管的直径为1.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种含氚老化样品中微量³He定量测定的系统，其特征在于，所述压力传感器为低量程传感器，所述四极质谱仪的型号为HAL/3F301RC，真空泵为高密封性真空气体机械泵和/或分子泵。

5.根据权利要求1所述的一种含氚老化样品中微量³He定量测定的系统，其特征在于，所述待测³He样品为含氚老化样品。