[发明专利]一种石英基板底厚快速测量方法在审
申请号: | 201610116781.X | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN105588489A | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 张泳翔;许建 | 申请(专利权)人: | 南通永明光纤材料有限公司 |
主分类号: | G01B5/06 | 分类号: | G01B5/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226363 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 基板底厚 快速 测量方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种厚度测量方法,具体涉及一种石英基板底厚快速测量方法。
背景技术
在使用基板的生产过程中,需要对石英基板的底厚进行测量确认,现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度,然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小,测量难度大且测量的数值会出现偏差,测量部不准确。
发明内容
发明目的:本发明的目的是为了解决现有技术中的不足,提供一种操作方便,测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。
技术方案:本发明所述的一种石英基板底厚快速测量方法,包括如下步骤:
(1)根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片;
(2)将垫片与底座固定;
(3)首先校正零位,即放下把手时,测头与垫片表面接触,把百分表清零校正;
(4)然后可以开始逐个测量:抬起把手,将待测基板倒置放在垫片上,再放下把手,读出百分表读数,就是测得的基板底厚数值。
进一步的,其测量装置包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。
进一步的,所述伸缩管上固定连接有按压把手。
进一步的,所述测头为不锈钢测头。
进一步的,所述支撑垫片与所述底座通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
进一步的,所述待测石英基板倒置放置。
进一步的,所述待测石英基板的宽度大于所述支撑片的宽度。
有益效果:本发明具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
附图说明
图1为本发明的结构主视图。
图2为本发明的结构俯视图。
图3为本发明的支撑垫片与待测石英基板结构放大图。
具体实施方式
一种石英基板底厚快速测量方法,包括如下步骤:
(1)根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片;
(2)将垫片与底座固定;
(3)首先校正零位,即放下把手时,测头与垫片表面接触,把百分表清零校正;
(4)然后可以开始逐个测量:抬起把手,将待测基板倒置放在垫片上,再放下把手,读出百分表读数,就是测得的基板底厚数值。
如图1-3所示的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座1和与所述底座1固定连接的固定架2,固定架2通过支架7固定连接有百分表3,百分表3下端通过伸缩管4活动连接有测头6,测头6正下方设有与底座1固定连接的支撑垫片8,支撑垫片8上放置有待测石英基板9,其中伸缩管4上固定连接有按压把手5,测头6为不锈钢测头,支撑垫片8与所述底座1通过两侧的锁紧螺丝固定连接,待测石英基板9倒置放置,待测石英基板9的宽度大于所述支撑片8的宽度。
本发明具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。
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