[发明专利]一种石英基板底厚快速测量方法

权利要求书

1.一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片；

（2）将垫片与底座固定；

（3）首先校正零位，即放下把手时，测头与垫片表面接触，把百分表清零校正；

（4）然后可以开始逐个测量：抬起把手，将待测基板倒置放在垫片上，再放下把手，读出百分表读数，就是测得的基板底厚数值。

2.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：其测量装置包括底座（1）和与所述底座（1）固定连接的固定架（2），所述固定架（2）通过支架（7）固定连接有百分表（3），所述百分表（3）下端通过伸缩管（4）活动连接有测头（6），所述测头（6）正下方设有与底座（1）固定连接的支撑垫片（8），所述支撑垫片（8）上放置有待测石英基板（9）。

3.根据权利要求2所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：所述伸缩管（4）上固定连接有按压把手（5）。

4.根据权利要求2所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：所述测头（6）为不锈钢测头。

5.根据权利要求2所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：所述支撑垫片（8）与所述底座（1）通过两侧的锁紧螺丝固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：所述待测石英基板（9）倒置放置。

7.根据权利要求2所述的一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：所述待测石英基板（9）的宽度大于所述支撑片（8）的宽度。