[发明专利]一种石墨舟自动清洗装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及光伏制造技术领域，尤其涉及一种石墨舟自动清洗装置及方法。

背景技术

太阳能电池生产过程中硅片的镀膜过程是由石墨舟作为载体，在镀膜过程中石墨 舟表面会附着上一层氮化硅膜，氮化硅膜会影响硅片的镀膜效果，因此需要定期对石墨舟 进行清洗。清洗石墨舟的过程中需要将石墨舟放在耐酸材质的容器中，并向容器中添加一 定量的纯水和氢氟酸，经过鼓泡清洗、水浴去酸等过程才能将石墨舟表面的氮化硅去除干 净。而在对石墨舟清洗时，诸如加水，加酸，鼓泡清洗，排液等过程全部由人工操作，准确性 低，安全性差。

目前的石墨舟清洗装置中，通常由两个或者多个清洗槽组成，石墨舟放入装置内 之后，需要操作人员向装置内手动或通过隔膜泵添加定量的氢氟酸，打开加水阀向内添加 纯水至一定水位后关闭，再打开压缩空气阀门，通过装置底部的鼓泡管鼓泡，经过一定时间 后将酸液排放到其他清洗槽内，通过多次水浴去酸后方可完成石墨舟清洗过程。

现有的石墨舟清洗装置，基本上全部通过人工操作完成加酸、加水、鼓泡清洗、水 浴去酸、排酸（排水）等一系列过程，在此过程中存在以下问题：

1.由于氢氟酸具有强烈的腐蚀性，氢氟酸暴露在外环境中存在安全隐患；

2.人工清洗过程中酸和水的用量、某一过程（如鼓泡，水洗）的时间、以及所有的阀门开 关全部由人工控制，准确度低，更浪费时间和人工；

3.目前的石墨舟清洗装置无安全门，工作过程中无法锁闭，装置内的酸水混合物直接 与外界接触，若发生液体飞溅，容易对附近人员造成危险。

4.当前的石墨舟清洗装置无急停开关，在出现意外情况时无法及时关闭所有加液 和通气阀门，存在安全隐患。

5.氢氟酸用量由人工控制，不能保证用量稳定。

所以，如何提供一种石墨舟自动清洗装置及清洗方法，解决现有技术中存在的问 题，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种石墨舟自动清洗装置及基于该装置的清洗方法，具 体方案如下：

一种石墨舟自动清洗装置，包括清洗槽、氢氟酸储罐、排废管以及控制中心，其特征在 于：

所述清洗槽以及所述氢氟酸储罐之间通过输酸管连接，在所述输酸管上远离氢氟酸储 罐的方向上依次串接有隔膜泵、酸流量计、酸阀；

所述清洗槽还连接有输水管，所述输水管上设有水阀以及水流量计；

所述排废管设于所述清洗槽底部，所述排废管上设有排废阀；

所述清洗槽底部还设有鼓泡装置，所述鼓泡装置连接着为输气管，所述输气管上设有 气阀；

所述清洗槽的侧壁上还设有低液位传感器、高液位传感器；

所述酸阀、所述酸流量计、所述隔膜泵、所述水阀、所述水流量计、所述排废阀、所述气 阀、所述低液位传感器以及所述高液位传感器均与所述控制中心通讯连接。

进一步的，所述清洗槽内还设有氢氟酸浓度传感器，所述氢氟酸浓度传感器与所 述控制中心通讯连接。

更进一步的，所述清洗槽上部还设有安全门，所述安全门上设有安全门传感器、所 述安全门的顶部设有报警灯，所述安全门传感器以及所述报警灯与所述控制中心通讯连 接。

具体的，所述控制中心设于所述清洗槽的侧面，所述控制中心包括控制操作界面 以及急停按钮。

一种基于上述石墨舟自动清洗装置的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据石墨舟清洗需要，通过控制中心的操作界面设定氢氟酸加入量以及纯水加入 量；

S2：开启隔膜泵以及酸阀开关，当设定氢氟酸加入量与酸流量计检测到的通过量一致 时，关闭所述隔膜泵及所述酸阀，完成氢氟酸加入；

S3：完成S2步骤后，水阀开启，当纯水注入量与水流量计检测到的通过量一致时，或高 液位传感器检测到液位时，关闭所述水阀，完成纯水的加入步骤；

S4：完成S3步骤后，开启气阀，气体进入清洗槽底部的鼓泡装置，形成持续不断的气泡， 加速石墨舟附着物的清除；

S5：完成S4步骤后，开启排废阀，当低液位传感器检测不到液位时，排废液完成；

S6：检查石墨舟清洗效果，如果不符合要求，重复S1-S4步骤，直至达到清洗要求；