[发明专利]一种石墨舟自动清洗装置及方法

权利要求书

1.一种石墨舟自动清洗装置，包括清洗槽、氢氟酸储罐、排废管以及控制中心，其特征 在于：

所述清洗槽以及所述氢氟酸储罐之间通过输酸管连接，在所述输酸管上远离氢氟酸储 罐的方向上依次串接有隔膜泵、酸流量计、酸阀；

所述清洗槽还连接有输水管，所述输水管上设有水阀以及水流量计；

所述排废管设于所述清洗槽底部，所述排废管上设有排废阀；

所述清洗槽底部还设有鼓泡装置，所述鼓泡装置连接着为输气管，所述输气管上设有 气阀；

所述清洗槽的侧壁上还设有低液位传感器、高液位传感器；

所述酸阀、所述酸流量计、所述隔膜泵、所述水阀、所述水流量计、所述排废阀、所述气 阀、所述低液位传感器以及所述高液位传感器均与所述控制中心通讯连接。

2.根据权利要求1所述的石墨舟自动清洗装置，其特征在于：所述清洗槽内还设有氢氟 酸浓度传感器，所述氢氟酸浓度传感器与所述控制中心通讯连接。

3.根据权利要求2所述的石墨舟自动清洗装置，其特征在于：所述清洗槽上部还设有安 全门，所述安全门上设有安全门传感器、所述安全门的顶部设有报警灯，所述安全门传感器 以及所述报警灯与所述控制中心通讯连接。

4.根据权利要求3所述的石墨舟自动清洗装置，其特征在于：所述控制中心设于所述清 洗槽的侧面，所述控制中心包括控制操作界面以及急停按钮。

5.一种基于上述石墨舟自动清洗装置的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据石墨舟清洗需要，通过控制中心的操作界面设定氢氟酸加入量以及纯水加入 量；

S2：开启隔膜泵以及酸阀开关，当设定氢氟酸加入量与酸流量计检测到的通过量一致 时，关闭所述隔膜泵及所述酸阀，完成氢氟酸加入；

S3：完成S2步骤后，水阀开启，当纯水注入量与水流量计检测到的通过量一致时，或高 液位传感器检测到液位时，关闭所述水阀，完成纯水的加入步骤；

S4：完成S3步骤后，开启气阀，气体进入清洗槽底部的鼓泡装置，形成持续不断的气泡， 加速石墨舟附着物的清除；

S5：完成S4步骤后，开启排废阀，当低液位传感器检测不到液位时，排废液完成；

S6：检查石墨舟清洗效果，如果不符合要求，重复S1-S4步骤，直至达到清洗要求；

S7：完成步骤S6后，开启水浴去酸的过程，所述水浴去酸的过程包括反复执行加水、鼓 泡、排废液，直至氢氟酸浓度传感器检测值符合要求为止。

6.根据权利要求5所述的清洗方法，其特征在于：所述步骤S2-S5以及S7均由控制中心 通过既定的程序实现控制。