[发明专利]一种CSP共晶焊接方法有效
申请号: | 201610104163.3 | 申请日: | 2016-02-26 |
公开(公告)号: | CN105609439B | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 贾辰宇;孙智江 | 申请(专利权)人: | 海迪科(南通)光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K37/00;B23K37/04 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 csp 焊接 方法 | ||
1.一种CSP共晶焊接方法,其特征在于:所述共晶焊接方法包括如下步骤:
(1)点共晶焊锡:通过固晶机把共晶焊锡点在COB基板电路上;
(2)固晶:通过固晶机把若干颗CSP芯粒固定在点有共晶焊锡的COB基板电路上;
(3)共晶:将固晶后的COB基板放置在300℃~400℃的高温轨道上,通过压合装置同时下压COB基板上的芯粒,将芯粒与共晶焊锡同时压合,达到共晶焊;压合分为三个阶段,第一压合阶段以8g/s~12g/s的速度逐渐增加压合压力,压合时间为40s,第二压合阶段以40s时所达压力进行压合40s,第三压合阶段以16g/s~24g/s的速度逐渐减缓压合压力,压合时间为20s;
(4)点胶:把荧光粉和胶水充分搅拌均匀,制得荧光粉胶,荧光粉胶真空脱泡后,通过点胶机台喷涂在共晶后的COB基板表面,并对荧光粉胶进行胶固化;
(5)测试包装:待步骤(4)中COB基板表面的荧光粉胶固化后,进行性能测试,测试合格的CSP成品进行包装。
2.根据权利要求1所述的CSP共晶焊接方法,其特征在于:所述步骤(3)中的压合装置包括施压部件和驱动施压部件的驱动装置,所述施压部件包括一压块,且所述压块的下表面均匀分布有垂直向下的金属探针;所述驱动装置为弹簧压合或气压。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造