[发明专利]一种对位装置及蒸镀设备

说明书

本发明提供一种对位装置及蒸镀设备。所述对位装置，用于对目标物进行对位，包括：导向机构；位于导向机构上的第二磁场发生机构和与所述第二磁场发生机构相对设置的第一磁场发生机构；其中，在所述第二磁场发生机构与第一磁场发生机构相互排斥的状态下，所述第二磁场发生机构沿着所述导向机构滑动，将所述目标物推送到设定位置。所述蒸镀设备包括1‑4组本发明任意一项实施例所提供的对位装置，分别用于对掩膜板的1‑4个角进行对位。本发明所提供的对位装置及蒸镀设备，能够方便快捷地对掩膜板进行对位。

技术领域

本发明涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种对位装置及蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电激光显示)蒸镀工艺在蒸镀过程中需要掩膜板形成特定图案。由于基板结构的不同，有些基板需要在一个腔体中多次更换掩膜板，即机械手需要频繁地在Cassette(蒸镀盒)和多个不同蒸镀腔体中取放。蒸镀掩膜板是对应整片基板的金属材质的掩膜板，质量较大，在频繁的更换过程中极易在腔室和Cassette中产生偏移。在OLED蒸镀量产线中，由于在真空环境中，如果出现掩膜板位置偏移，工艺停下维修时间较长，严重影响OLED屏的成本。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种对位装置及蒸镀设备，能够方便快捷地对掩膜板进行对位。

基于上述目的本发明提供的对位装置，用于对目标物进行对位，包括：

导向机构；

位于导向机构上的第二磁场发生机构和与所述第二磁场发生机构相对设置的第一磁场发生机构；

其中，在所述第二磁场发生机构与第一磁场发生机构相互作用力的作用下，所述第二磁场发生机构沿着所述导向机构滑动，将所述目标物推送到设定位置。

可选的，所述第二磁场发生机构与目标物接触的位置设置有缓冲垫。

可选的，所述第一磁场发生机构为永磁体或电磁体；所述第二磁场发生机构为永磁体或电磁体。

可选的，所述目标物为掩膜板；所述导向机构为轨道，设置于掩膜板支撑体上；所述第一磁场发生机构与所述掩膜板支撑体相对固定。

可选的，所述掩膜板支撑体上设置有对位槽；所述第一磁场发生机构为电磁棒，固定于所述掩膜板支撑体上，所述电磁棒上设置有绕组线圈；所述第二磁场发生机构为片状永磁体，所述电磁棒与所述永磁体接触的一端垂直于所述永磁体，使得在二者相互排斥的状态下，排斥力的产生方向朝向所述对位槽。

可选的，所述轨道为设置于所述掩膜板支撑体上的滑槽。

可选的，还包括无线接收模块，用于接收无线控制信号，并根据无线控制信号开启或关断电流，使得所述电磁体产生电磁场。

同时，本发明还提供一种蒸镀设备，包括1-4组本发明任意一项实施例所提供的对位装置，分别用于对掩膜板的1-4个角进行对位；所述掩膜版为矩形，所述角为所述矩形掩膜版的角。

可选的，所述蒸镀设备为蒸镀盒，所述导向机构为轨道，设置于掩膜板支撑体上；所述第一磁场发生机构与所述掩膜板支撑体相对固定，所述掩膜板支撑体上设置有对位槽；所述第一磁场发生机构为电磁棒，固定于所述掩膜板支撑体上，所述电磁棒上设置有绕组线圈；所述第二磁场发生机构为片状永磁体，所述电磁棒与所述永磁体接触的一端垂直于所述永磁体，使得在二者相互排斥的状态下，排斥力的产生方向朝向所述对位槽，所述绕组线圈从所述蒸镀盒的支撑柱中绕出至所述电磁棒。

可选的，包括4组本发明任意一项实施例所提供的对位装置。