[发明专利]一种对位装置及蒸镀设备

权利要求书

1.一种对位装置，用于对目标物进行对位，其特征在于，包括：

导向机构；

位于导向机构上的第二磁场发生机构和与所述第二磁场发生机构相对设置的第一磁场发生机构；

其中，在所述第二磁场发生机构与第一磁场发生机构相互作用力的作用下，所述第二磁场发生机构沿着所述导向机构滑动，将所述目标物推送到设定位置。

2.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述第二磁场发生机构与目标物接触的位置设置有缓冲垫。

3.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，所述第一磁场发生机构为永磁体或电磁体；所述第二磁场发生机构为永磁体或电磁体。

4.根据权利要求3所述的对位装置，其特征在于，所述目标物为掩膜板；所述导向机构为轨道，设置于掩膜板支撑体上；所述第一磁场发生机构与所述掩膜板支撑体相对固定。

5.根据权利要求4所述的对位装置，其特征在于，所述掩膜板支撑体上设置有对位槽；所述第一磁场发生机构为电磁棒，固定于所述掩膜板支撑体上，所述电磁棒上设置有绕组线圈；所述第二磁场发生机构为片状永磁体，所述电磁棒与所述永磁体接触的一端垂直于所述永磁体，使得在二者相互排斥的状态下，排斥力的产生方向朝向所述对位槽。

6.根据权利要求5所述的对位装置，其特征在于，所述轨道为设置于所述掩膜板支撑体上的滑槽。

7.根据权利要求4所述的对位装置，其特征在于，还包括无线接收模块，用于接收无线控制信号，并根据无线控制信号开启或关断电流，使得所述电磁体产生电磁场。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括1-4组如权利要求1-7中任意一项所述的对位装置，分别用于对掩膜板的1-4个角进行对位；所述掩膜板为矩形，所述角为所述矩形掩膜板 的角。

9.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括蒸镀盒，还包括如权利要求5所述的对位装置，所述绕组线圈从所述蒸镀盒的支撑柱中绕出至所述电磁棒。

10.根据权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，包括4组如权利要求1-7中任意一项所述的对位装置。