[发明专利]立式径流真空泵

说明书

技术领域

本发明属于真空获得技术领域，尤其涉及一种立式径流真空泵。

背景技术

传统径流真空泵均采用卧式结构，其泵筒采用T型结构，泵筒中部为球体，进气口位于球体上方，气体由进气口进入泵筒球体，然后改变气流方向，沿径向进入抽气单元，然后由径流真空泵的抽气单元抽走。上述卧式径流泵具有运行可靠的优点，受到了用户的欢迎。然而，卧式径流泵的结构存在气体阻力大、抽气效率低、结构复杂和制造成本高的缺点，影响了径流真空泵的大规模推广应用。

传统轴流真空泵均采用立式结构，泵筒采用柱状结构，气体由泵筒上方的进气口直接沿轴向进入轴流抽气单元，然后由轴流抽气单元抽走。立式结构的轴流真空泵具有气流通道畅顺、阻力小、抽气效率高、结构简单和制造成本低的优点，但运行可靠性较低。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种立式径流真空泵，消除传统径流真空泵和轴流真空泵的缺点，实现兼有传统径流真空泵和轴流真空泵优点的目的。

本发明是这样实现的，一种立式径流真空泵，包括泵壳，所述泵壳上设有进气口和排气口，所述泵壳内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘动轮，所述静轮设于两相邻的所述动轮之间，当所述径流抽气单元的抽气方向由外向内抽气时，所述动密封位于所述动轮的下方，或者当所述径流抽气单元的抽气方向由内向外抽气时，所述动密封位于所述动轮的上方，所述泵壳为柱状结构，所述进气口设于所述泵壳的侧壁上，所述静轮外侧设有径向气体流动通道，所述径向气体流动通道与所述进气口相对。

进一步地，所述径流抽气单元成对组装，其中，上侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道设在下方，下侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道设在上方，上侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道正对着所述下侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道。

进一步地，所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道内设有一组由外向内抽气的径流涡轮分子泵的静轮叶片。

本发明还提供了一种立式串联径流真空泵，包括泵壳，所述泵壳上设有进气口和排气口，所述泵壳为柱状结构，所述进气口设于所述泵壳的侧壁上，所述泵壳内设有若干串联的抽气级，位于所述进气口处的第一抽气级采用较多的并联且同轴安装的如前所述的径流抽气单元；靠近所述排气口的最后抽气级采用较少的并联且同轴安装的如前所述的径流抽气单元，或者采用单个如前所述的径流抽气单元；位于所述第一抽气级和最后抽气级之间的抽气级，其采用的并联且同轴安装的如前所述的径流抽气单元的数量依次递减。

本发明提供的立式径流真空泵具有如下优点：

1．气流阻力小，抽气效率高，有效抽速高出传统卧式分子泵30%以上。

2．体积小，重量轻，适合用于结构紧凑的应用场合。

3．结构简单，制造成本低，与传统卧式径流真空泵相比，成本降低约30%。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1-1是本发明实施例一提供的立式径流真空泵中的泵壳的示意图。

图1-2是沿图1-1中的A-A方向的剖视图。

图1-3是本发明实施例一提供的立式径流真空泵的剖视图。

图1-4是本发明实施例一提供的立式径流真空泵中的静轮结构的示意图。

图1-5是本发明实施例一提供的立式径流真空泵中的另一种静轮结构的示意图。

图2-1是本发明实施例二提供的立式径流真空泵的剖视图。

图2-2是本发明实施例二提供的立式径流真空泵中的静轮的示意图。

图3是本发明实施例三提供的一种立式串联径流真空泵的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一：立式径流真空泵