[发明专利]立式径流真空泵

权利要求书

1.一种立式径流真空泵，包括泵壳，所述泵壳上设有进气口和排气口，所述泵壳内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘动轮，所述静轮设于两相邻的所述动轮之间，当所述径流抽气单元的抽气方向由外向内抽气时，所述动密封位于所述动轮的下方，或者当所述径流抽气单元的抽气方向由内向外抽气时，所述动密封位于所述动轮的上方，其特征在于，所述泵壳为柱状结构，所述进气口设于所述泵壳的侧壁上，所述静轮外侧设有径向气体流动通道，所述径向气体流动通道与所述进气口相对。

2.根据权利要求1所述的立式径流真空泵，其特征在于：所述径流抽气单元成对组装，其中，上侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道设在下方，下侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道设在上方，上侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道正对着所述下侧所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道。

3.根据权利要求1所述的立式径流真空泵，其特征在于：所述径流抽气单元的静轮的径向气体流动通道内设有一组由外向内抽气的径流涡轮分子泵的静轮叶片。

4.一种立式串联径流真空泵，包括泵壳，所述泵壳上设有进气口和排气口，其特征在于：所述泵壳为柱状结构，所述进气口设于所述泵壳的侧壁上，所述泵壳内设有若干串联的抽气级，位于所述进气口处的第一抽气级采用较多的并联且同轴安装的如权利要求1~3任一项所述的径流抽气单元；靠近所述排气口的最后抽气级采用较少的并联且同轴安装的如权利要求1或2所述的径流抽气单元，或者采用单个如权利要求1或2所述的径流抽气单元；位于所述第一抽气级和最后抽气级之间的抽气级，其采用的并联且同轴安装的如权利要求1或2所述的径流抽气单元的数量依次递减。