[发明专利]晶圆测试时自我检测的方法及其晶圆测试制具有效
| 申请号： | 201610073132.6 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN107037345B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范智翔 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;钟宗 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 自我 检测 方法 及其 | ||
1.一种晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，包括以下步骤：
测量步骤：A个探针组与一晶圆的至少一测量区域内的若干晶粒接触，每个所述探针组包括至少一个探针，所述探针组电连接一所述晶粒，所述探针组分次测量所述测量区域内每个所述晶粒的电气信号参数；
判断步骤：依据每个所述探针组与其他所述探针组的测量误差百分比E超出预设标准范围的超标次数F，判断探针组数量A的设备差异度百分比值G是否大于等于预设百分比阈值H，设备差异度百分比值G大于等于预设百分比阈值H的所述探针组不合格。
2.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，所述测量步骤中所述探针组与一晶圆的至少两个不相邻的测量区域内的晶粒分别接触。
3.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，所述电气信号参数是电压。
4.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，所述电气信号参数是频率。
5.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，A大于等于3。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于，所述判断步骤包括：
获得每个所述探针组所有效测量到的有效电气信号参数总和B和有效测量总次数C；
获得每个所述探针组所有效测量到有效电气信号参数的平均值D；
获得每个所述探针组分别与其他所述探针组的测量误差百分比E；
获得每个所述探针组分别与其他所述探针组的测量误差百分比E超出预设标准范围的超标次数F；
获得每个所述探针组的超标次数F与探针组中探针组数量A的设备差异度百分比值G；
判断每个所述探针组的设备差异度百分比值G是否大于等于预设百分比阈值H；以及
大于等于预设百分比阈值H的所述探针组不合格。
7.如权利要求6所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：每个所述探针组的所述有效电气信号参数的平均值D等于该探针组的有效电气信号参数总和B与有效测量总次数C的商。
8.如权利要求7所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：每个所述探针组分别与其他所述探针组的测量误差百分比E等于所述探针组的所述有效电气信号参数的平均值D与其他所述探针组的有效电气信号参数的平均值D的差值占该探针组的有效电气信号参数的平均值D的百分比。
9.如权利要求8所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：所述预设标准范围为-5％至5％。
10.如权利要求9所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：每个所述探针组的设备差异度百分比值G等于超标次数F与探针组中探针组数量A的商。
11.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：所述预设百分比阈值H的取值范围为50％至100％。
12.如权利要求1所述的晶圆测试时自我检测的方法，其特征在于：所述预设百分比阈值H为60％。
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