[发明专利]空气隙槽波导环形谐振腔集成光学陀螺在审
| 申请号： | 201610064481.1 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN105547276A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 孔梅;张荣;陈晨;郭丽君 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72;G02B6/122 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 波导 环形 谐振腔 集成 光学 陀螺 | ||
【权利要求书】：
1.一种空气隙槽波导环形谐振腔集成光学陀螺，光源(1)由光纤连接到分束器(2)的 输入端；分束器(2)的两个输出端由光纤分别连接到波导条(3)两端；在衬底(4)上波导 条(3)与环形谐振腔(5)靠近；每个耦合器(6)都由光纤与各自的光电探测器(7)连接； 其特征在于，所述环形谐振腔(5)的环形波导为空气隙槽波导(8)，所述波导条(3)的条 形波导为实心波导或者空气隙槽波导(8)；所述空气隙槽波导(8)的槽宽为30～100nm，槽 深为150～350nm；所述空气隙槽波导(8)的槽区为空气，槽区两侧为高折射率介质。
2.根据权利要求1所述的空气隙槽波导环形谐振腔集成光学陀螺，其特征在于，所述槽 宽为50nm，所述槽深为300nm，所述高折射率介质为硅；所述空气隙槽波导(8)制作在SOI 上，利用电子束刻蚀或者光刻方法，在硅层刻划出空气隙槽波导(8)。
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