[发明专利]一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法

权利要求书

1.一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同的模具，置于压力 20Pa～400Pa，温度1450℃～1850℃，在惰性气体保护下，连续通入甲烷和/或丙烷气体， 先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度5-30微米，再沉积热解氮化硼坩埚模具，脱 模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。

2.根据权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，通入 的气体甲烷或丙烷气体，通气时间为20-100min，通气流量为0.5L-3L/min，通气温度为1450 ℃～1850℃。

3.根据权利要求2所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，通气 时间30-60min，通气流量1-2L/min，通气温度1650℃～1750℃。

4.根据权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，所述 的压力为80Pa～100Pa，温度1650℃～1750℃。

5.根据权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，所述 的惰性气体为氮气，氮气纯度99.999％以上。

6.根据权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，涂层 厚度为15-20微米。

7.根据权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，其特征在于，沉积 热解氮化硼坩埚模具的方法如下：在温度1800-2000℃，压力30-300Pa下，通入氮气作为 氛围气体，通入三氯化硼或三氟化硼与氨气反应，在模具上沉积热解氮化硼，10-25小时后， 冷却降温，脱模制得。

8.一种权利要求1所述的长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同 的模具，置于压力80Pa～100Pa，温度1650℃～1750℃，在氮气气体保护下，连续通入甲烷 或丙烷气体，通气时间为20-100min，通气流量为0.5L-3L/min，通气温度为1450℃～1850 ℃，先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度15-20微米；按现有技术再沉积热解氮化 硼坩埚模具，脱模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。