[发明专利]一种柔性探针在审
| 申请号： | 201610045067.6 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106996995A | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 杨霏;郑柳;王方方;李玲;夏经华;田亮;王嘉铭;桑玲;李嘉琳;钮应喜 | 申请（专利权）人： | 国网智能电网研究院;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性探针，其特征在于，所述探针包括支撑臂、柔性接触探针及连接所述支撑臂与柔性接触探针的柔性连接点，所述柔性连接包括固定或可拆卸，所述柔性接触探针为二维或三维结构。
2.如权利要求1所述的一种柔性探针，其特征在于，所述柔性接触探针为烟斗状或汤匙状。
3.如权利要求2所述的一种柔性探针，其特征在于，所述烟斗状或汤匙状的柔性探针空间体积为1μm3～0.1m3。
4.如权利要求1所述的一种柔性探针，其特征在于，所述支撑臂为金属材料。
5.如权利要求4所述的一种柔性探针，其特征在于，所述金属材料为铜、铝、银、金。
6.如权利要求4所述的一种柔性探针，其特征在于，所述支撑臂为长、宽、高的值为1μm～100cm的长方体。
7.如权利要求4所述的一种柔性探针，其特征在于，所述支撑臂为长度和半径的取值1μm～100cm的圆柱体。
8.如权利要求1所述的一种柔性探针，其特征在于，所述柔性连接包括螺纹、卡槽或弹簧。
9.如权利要求1所述的一种柔性探针，其特征在于，所述柔性接触探针是由圆柱体或长方体加工制备。
10.如权利要求1所述的一种柔性探针，其特征在于，所述柔性接触探针为金属材料；所述金属材料为铜、铝、银、金。
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