[发明专利]一种金属抛光用复合抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种金属抛光用复合抛光液，其特征在于：由以下质量百分比的组分组成：多晶金刚石微粉0.1%~2%、碳化硼微粉0.1%~2%、二氧化硅溶胶5%~60%、分散剂0.02%~5%、pH值调节剂0.001%~0.5%、腐蚀抑制剂0~1%，余量为水；

所述多晶金刚石微粉的粒度为50~250nm；所述碳化硼微粉的粒度为50~200nm，且碳化硼微粉的粒度不大于多晶金刚石微粉的粒度；所述二氧化硅溶胶的粒度为10~150nm，二氧化硅溶胶的固含量为20%~50%；

所述分散剂为阿拉伯胶、偏硅酸钠、六偏磷酸钠、乙二醇、丙三醇、油酸钠、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基二乙基醇酰胺、N,N-油酰甲基牛磺酸钠、甲氧基脂肪酰胺基苯磺酸钠中的任意一种或组合；

所述pH值调节剂为无机碱与有机碱的质量比为1:1~20的复配物；其中，所述无机碱为氢氧化钠、氢氧化钾中的任意一种或组合，所述有机碱为乙醇胺；

所述腐蚀抑制剂为磷酸钠、硅酸钠、重铬酸钾、二乙醇胺、油酸三乙醇胺中的任意一种或组合。

2.根据权利要求1所述的金属抛光用复合抛光液，其特征在于：所用的水为电阻率大于0.1MΩ·cm的去离子水。

3.一种如权利要求1所述的金属抛光用复合抛光液的制备方法，其特征在于：包括下列步骤：

1）取多晶金刚石微粉与碳化硼微粉，加入其总重量5~10倍的水，再加入配方量的分散剂，超声分散，得润湿磨料；

2）向步骤1）所得润湿磨料中依次加入剩余的水和配方量的pH值调节剂、腐蚀抑制剂和二氧化硅溶胶，搅拌使其分散均匀，即得。

4.根据权利要求3所述的金属抛光用复合抛光液的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述多晶金刚石微粉和碳化硼微粉使用前经过净化处理，所述净化处理为：分别取多晶金刚石微粉和碳化硼微粉，加入氧化性酸，经煮沸、静置冷却后，反复水洗至磨料与水的混合物的电阻率大于0.02MΩ·cm，将磨料烘干，备用。

5.根据权利要求4所述的金属抛光用复合抛光液的制备方法，其特征在于：水洗所用的水温度不低于50℃。

6.根据权利要求3所述的金属抛光用复合抛光液的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述超声分散的时间为10~20min。