[发明专利]一种多能量离子束在钢衬底上沉积非晶金刚石厚膜的方法

权利要求书

1.使用多能量离子束的磁过滤阴极弧沉积技术，低温下在钢衬底制备无金属过渡层的非晶 金刚石厚膜的方法。

2.根据权利要求1所述的钢衬底，其特征在于：该方法可以在不锈钢、合金钢、高速钢、 钛合金等各种金属衬底上沉积非晶金刚石膜。

3.根据权利要求1所述的低温，其特征在于：整个沉积过程都是在100℃以下进行。

4.根据权利要求1所述非晶金刚石膜，其特征在于：摩擦系数极低，膜表面平整度高，硬 度极高，厚度高达20μm以上。

5.根据权利要求1所述的多能量离子束，其特征在于：安放衬底的靶加负偏压，该负偏压 不是直流的，而是脉冲的，使到达衬底的等离子体束能量不是单一的，而是混合能量，这 样所制备类金刚石膜的内应力得到降低。

6.根据权利要求1所述的无金属过渡层技术，其特征在于：不需要再在衬底和沉积层中加 入金属过渡层，而是使用同沉积层相同的石墨弧源做一个渐变层，无需换源。