[发明专利]一种磁感应LED芯片及其制备方法有效
| 申请号: | 201610032273.3 | 申请日: | 2016-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN105576089B | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
| 发明(设计)人: | 何苗;闫保彪;郑树文 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/52;H01L33/36 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 胡辉 |
| 地址: | 510631 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 感应 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种磁感应LED芯片及其制备方法,芯片包括发光结构,所述发光结构的侧面纵向环绕有透明的磁感应线圈。方法包括:在蓝宝石衬底上生长形成GaN缓冲层;在GaN缓冲层上生长形成n‑GaN发光层;在n‑GaN发光层上生长形成发光外延结构;将蓝宝石衬底和GaN缓冲层进行剥离;通过透明的磁感应线圈将n‑GaN发光层和发光外延结构的侧面进行纵向环绕。本发明通过采用透明的磁感应线圈将n‑GaN发光层和发光外延结构的侧面进行纵向环绕,能通过电磁感应取代传统的有线连接,从而利用感应电流激发LED发光,彻底抛弃了现有的焊接工艺,大大简化封装工艺流程,使封装更加方便快捷高效,有效节约生产成本。本发明可广泛用于半导体领域中。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种磁感应LED芯片及其制备方法。
背景技术
目前应用比较广泛的芯片有水平芯片、倒装芯片、垂直芯片三种结构。通过ANSYS模拟分析,三种芯片起关键作用的结构(正极、负极、p-GaN、MQW、n-GaN)在相同条件下的电场强度、电流密度、焦耳热分析。其中,最大电场强度关系:水平<倒装<垂直;最大电流密度关系:垂直<倒装<水平;最大焦耳热关系:垂直<倒装<水平。对于水平结构和倒装结构靠近n电极的台阶处电流密度较大,在p-GaN层和量子阱层电流垂直流向,产生拥挤效应;在GaN层特别是下半部分电流横向流动,在台阶拐角处和负电极处电流密度很大,产生拥挤效应。由于电流拥挤的存在以至于广大活性区域没有得到充分的利用,会导致器件发光效率低,并且引起发热不均产生局部高温,从而在这个区域产生较大热应力,对LED的可靠性产生很大威胁。而且现有技术的芯片封装焊线工艺会产生虚焊漏焊等诸多问题,此外焊接需要大量的金线增加了生产成本。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明的目的是提供一种能简化封装工艺,节约成本的一种磁感应LED芯片及其制备方法。
本发明所采取的技术方案是:
一种磁感应LED芯片,包括发光结构,所述发光结构的侧面纵向环绕有透明的磁感应线圈。
作为所述的一种磁感应LED芯片的进一步改进,所述磁感应线圈由导电材料和覆盖在导电材料表面的绝缘层组成。
作为所述的一种磁感应LED芯片的进一步改进,所述发光结构包括n-GaN发光层和形成在n-GaN发光层上的发光外延结构。
作为所述的一种磁感应LED芯片的进一步改进,所述发光外延结构由上到下依次为p-GaN层、p-Al0.15Ga0.85N层、In0.06Ga0.94N层和n-Al0.15Ga0.85N层,所述n-Al0.15Ga0.85N层形成在n-GaN发光层上。
作为所述的一种磁感应LED芯片的进一步改进,所述发光外延结构呈倒梯形结构。
本发明所采用的另一技术方案是:
一种磁感应LED芯片制备方法,包括以下步骤:
A、在蓝宝石衬底上生长形成GaN缓冲层;
B、在GaN缓冲层上生长形成n-GaN发光层;
C、在n-GaN发光层上生长形成发光外延结构;
D、将蓝宝石衬底和GaN缓冲层进行剥离;
E、通过透明的磁感应线圈将n-GaN发光层和发光外延结构的侧面进行纵向环绕,得到磁感应LED芯片。
作为所述的一种磁感应LED芯片制备方法的进一步改进,所述步骤C包括:
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