[发明专利]掩膜板有效
申请号: | 201610016716.X | 申请日: | 2016-01-11 |
公开(公告)号: | CN105629655B | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 马骏;杨成绍 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G02F1/15;G02F1/13 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 鞠永善 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 | ||
1.一种掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括:
透明基板;
所述透明基板上形成有至少两层电致变色薄膜图形,每层所述电致变色薄膜图形的上下两侧形成有透明电极;
所述至少两层电致变色薄膜图形能够在所述透明电极的作用下在显示基板上形成至少两种不同的掩膜图形;
其中,所述透明基板的两侧中的至少一侧形成有下透明电极,所述下透明电极上形成有第一电致变色薄膜图形,所述第一电致变色薄膜图形上形成有共用透明电极,所述共用透明电极上形成有第二电致变色薄膜图形,所述第二电致变色薄膜图形上形成有上透明电极,所述共用透明电极上加载的电压小于所述下透明电极上加载的电压和所述上透明电极上加载的电压。
2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,
所述透明基板的两侧分别形成有至少一层电致变色薄膜图形。
3.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,
所述电致变色薄膜图形包括至少两个间隔设置的电致变色薄膜单元,所述至少两个间隔设置的电致变色薄膜单元的间隙形成有透明绝缘层。
4.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板还包括:设置在所述透明基板外围的控制模块,
所述控制模块分别与每层所述电致变色薄膜图形上下两侧形成的透明电极电连接,用于控制每层所述电致变色薄膜图形的电压,以调节每层所述电致变色薄膜图形的透光状态;
所述透光状态包括可透光状态和不透光状态。
5.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,
所述电致变色薄膜图形为普鲁士蓝薄膜。
6.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,
所述透明电极为氧化铟锡ITO膜层。
7.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,
所述透明绝缘层为氧化硅膜层或者氮化硅膜层。
8.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,
所述至少两层电致变色薄膜图形在所述透明基板上的正投影所形成的投影区域不同。
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