[发明专利]一种光通信芯片线路的检测系统的检测方法

说明书

本发明提供一种光通信芯片线路的检测系统及其检测方法，包括图像采集模块、图像滤波模块、CCD定标模块、图像测量模块、图像拼接模块、图像分割模块、数据处理模块，其中图像采集模块的输出端与图像滤波模块的输入端连接，图像滤波模块的输出端分别与CCD定标模块和图像拼接模块的输入端连接，CCD定标模块的输出端分别与图像测量模块和数据处理模块的输入端连接，图像拼接模块的输出端与图像分割模块的输入端连接，图像分割模块)的输出端与数据处理模块输入端连接。本发明检测系统可实现芯片的实时检测，可达到较高检测精度，工作效率高，本发明方便实用。

技术领域

本发明属于光通信芯片设计领域，具体涉及一种光通信芯片线路的检测系统及其检测方法。

背景技术

进入21世纪，对无线通讯、有线电视、宽频网络、多媒体等服务的需求变成了新的光通信发展驱动力。光通信技术的核心是光纤本身和光子器件。光纤已趋于成熟，位于光通信网络节点对光信号进行各种处理的功能部件，即光子器件，是增大信息传输容量并保证数据正确传递的关键。通过提高集成化以实现低成本、高可靠性发展目标的光子器件是现在和可预见的未来推动光通信进步的主要动力。

虽然，光通信芯片的设计方法和技术已有一定的发展，但是，这其中也有一些存在的问题。例如，当按照设计好的光路去制作芯片时，得到的产品无法了解它实际的光路是如何分布的，也就无法完全确定它是否按照要求进行生产，是否存在误差，多大的误差等等。所以，研究如何得到一片光通信芯片的光路分布是必要的。目前，没有可以实现自动检测芯片光路的检测系统及方法。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点和不足，提供一种光通信芯片线路的检测系统，该检测系统可达到较高检测精度，实时性好，工作效率高。

本发明的另一目的是提供一种光通信芯片线路的检测系统的检测方法，本发明结构简单，控制方便。

本发明的目的通过采用以下的技术方案来实现：

本发明的光通信芯片线路的检测系统，包括图像采集模块、图像滤波模块、CCD标定模块、图像测量模块、图像拼接模块、图像分割模块、数据处理模块，其中图像采集模块的输出端与图像滤波模块的输入端连接，图像滤波模块的输出端分别与CCD标定模块和图像拼接模块的输入端连接，CCD标定模块的输出端分别与图像测量模块和数据处理模块的输入端连接，图像拼接模块的输出端与图像分割模块的输入端连接，图像分割模块)的输出端与数据处理模块输入端连接。

本发明一种光通信芯片线路的检测方法，包括如下步骤：

1)图像采集模块对待测芯片进行图像采集。首先将待测芯片的载体晶圆在工业显微镜下放大100倍经过CCD摄像头得到原始图像，当图像达到最清晰的时刻即可进行采样。采集的图像传输至图像滤波模块，图像采用JPG文件格式输出，图像数据传输采用以太网的方式进行传输；

2)图像滤波模块对图像采集模块得到的有芯片的线路分布的原始图像。基于高斯滤波的方法进行噪声滤波处理除去图像中的噪声污染、消除边缘模糊得到了芯片的线路分布图去噪后的图像；

3)CCD标定模块对CCD摄像机进行标定，确定摄像机内部的几何参数和光学特性以及摄像机在三维世界中的坐标关系，通过三维空间刚体变换、在针孔模型中进行规范化投影、校正畸变的转换达到像素距离和实际距离的转换；

4)图像测量模块在图像滤波模块得到的去噪后的图像进行线宽的测量，在图像上用鼠标选取感兴趣的区域；对该区域做Canny边缘检测和Hough直线变换并显示检测到的直线；线宽即芯片中直波导的宽度，感兴趣的区域即直波导分布区域，其中只包含2条平行线；根据检测直线可得到直线起点和终点的坐标，将2条平行线的起点、终点纵坐标相减即可计算得到2条直线之间距离的像素距离；通过对 CCD标定模块得到像素与实际距离的转换关系即可算出实际的线宽距离；