[发明专利]一种光通信芯片线路的检测系统的检测方法

权利要求书

1.一种光通信芯片线路的检测系统的检测方法，其中光通信芯片线路的检测系统包括图像采集模块(1)、图像滤波模块(2)、CCD标定模块(3)、图像测量模块(4)、图像拼接模块(5)、图像分割模块(6)、数据处理模块(7)，图像采集模块(1)的输出端与图像滤波模块(2)的输入端连接，图像滤波模块(2)的输出端分别与CCD标定模块(3)和图像拼接模块(5)的输入端连接，CCD标定模块(3)的输出端分别与图像测量模块(4)和数据处理模块(7)的输入端连接，图像拼接模块(5)的输出端与图像分割模块(6)的输入端连接，图像分割模块(6)的输出端与数据处理模块(7)输入端连接，其特征在于光通信芯片线路的检测系统的检测方法包括如下步骤：

1)图像采集模块(1)对待测芯片进行图像采集；首先将待测芯片的载体晶圆在工业显微镜下放大100倍经过CCD摄像头得到原始图像，当图像达到最清晰的时刻即可进行采样；采集的图像传输至图像滤波模块(2)，图像采用JPG文件格式输出，图像数据传输采用以太网的方式进行传输；

2)图像滤波模块(2)对图像采集模块(1)得到的有芯片的线路分布的原始图像；基于高斯滤波的方法进行噪声滤波处理除去图像中的噪声污染、消除边缘模糊得到了芯片的线路分布图去噪后的图像；

3)CCD标定模块(3)对CCD摄像机进行标定，确定摄像机内部的几何参数和光学特性以及摄像机在三维世界中的坐标关系，通过三维空间刚体变换、在针孔模型中进行规范化投影、校正畸变的转换达到像素距离和实际距离的转换；

4)图像测量模块(4)在图像滤波模块(2)得到的去噪后的图像进行线宽的测量，在图像上用鼠标选取感兴趣的区域；对该区域做Canny边缘检测和Hough直线变换并显示检测到的直线；线宽即芯片中直波导的宽度，感兴趣的区域即直波导分布区域，其中只包含2条平行线；根据检测直线可得到直线起点和终点的坐标，将2条平行线的起点、终点纵坐标相减即可计算得到2条直线之间距离的像素距离；通过对CCD标定模块(3)得到像素与实际距离的转换关系即可算出实际的线宽距离；

5)图像拼接模块(5)对图像滤波模块(2)得到去噪后的待测芯片的线路图图像进行图像拼接，基于SURF和快速近似最近邻搜索匹配算法实现图像的全景拼接；结果图像以JPG文件格式保存在磁盘中；基于SURF和快速近似最近邻搜索匹配算法实现图像的全景拼接的过程为：1.兴趣点检测：SURF使用了近似的Hessian矩阵检测兴趣点,并使用积分图像大幅减少了运算量；2.兴趣点描述：SURF使用一阶Haar小波在x,y两个方向的响应作为构建特征向量的分布信息；3.兴趣点匹配：为了检测兴趣点,通过上述的近似模板与积分图像卷积,构建出了近似的Hessian矩阵然后通过计算Hessian矩阵的行列式构建出尺度σ上的响应图,进而用不同尺度的响应图构建出尺度空间,从而通过寻找尺度空间里的局部最大值来定位兴趣点及RANSAC算法剔除误配点对，最终的结果图像以JPG文件格式保存在磁盘中；

6)图像分割模块(6)对图像拼接模块(5)拼接的图像进行边缘提取、图像分割；选定Y分叉点之间的过度区域，分割出该区域；基于区域的图像分割方法进行图像的区域提取，可以得到清晰的图像边界；

7)数据处理模块(7)对图像分割模块(6)分割得到的区域进行曲率半径的计算，芯片的线路是由直波导和弯波导组成，弯波导对应某个圆的一段圆弧，圆弧曲率半径的计算过程：对分割出来的图像进行角点检测，得到直波导和弯波导的分界点，确定弯波导的范围；在范围内选取3个点的坐标，因为圆的曲率半径就是圆的半径，根据该几何原理再结合上述步骤得到的弯波导上三个点的坐标，即可代入圆的方程(x-a)²+(y-b)²＝r²，从而计算得到曲率半径r所占的像素个数，根据CCD标定模块(3)的参数则得到了实际曲率半径的大小。

2.根据权利要求1所述的光通信芯片线路的检测系统的检测方法，其特征在于上述根据该几何原理再结合上述步骤得到的弯波导上三个点的坐标，由角点检测找到直波导和弯波导的分界点，介于一级分界点和二级分界点之间的即为弯波导的范围，一级分界点和二级分界点分别为2个计算点，它们的中点即为第3个计算点。