[发明专利]用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备

说明书

本发明公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备，涉及显示装置制作领域，能够解决现有蒸镀设备加热不均，蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化，蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本发明提供的用于蒸镀的加热装置，包括：坩埚，用于盛装蒸镀原料；可移动加热单元，设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料；称重传感装置，设置于所述坩埚的下方，用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出；控制器，用于接收所述称重传感装置的输出，根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度，并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。

技术领域

本发明涉及显示装置制作领域，尤其涉及一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备。

背景技术

有机材料是OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电激光显示)元件稳定性的重要保证，目前大世代线均采用蒸镀方式成膜，这就要求蒸镀加热系统在保证稳定的镀率的同时，保持材料性能使其不因受热而发生劣化。

现有的OLED线源蒸镀如图1所示，坩埚10内放置蒸镀原料，加热源为缠绕并固定于坩埚10外部的加热线11，工作时蒸镀原料受热气化从喷嘴12中逸出，在衬底上成膜。这种整体加热设计一方面提高了材料整体的加热速率，但是另一方面也极易引起材料局部受热过快造成喷溅，且随着世代线的不断扩大，生产周期的不断延长，坩埚的容积也在不断扩大，材料受热不均现象会越发严重，喷溅现象也随之变得越来越严重。另外，坩埚整体加热的方式也会使得局部(主要是底部)的有机材料一直暴露于高热环境中，因为热分解之类的原因而劣化。

而且，当前有机材料成本较高，为保证材料利用率的基础上，减少设备闲置时间，在蒸镀过程中，某些时候会需要调整蒸镀镀率，此时便需要进行降温模式，但在降温模式下，如果一次性关闭加热源，会导致蒸镀镀率发生瞬间变化，后续需要更多时间进行稳定，如果使用缓慢降温模式，也同样面临调整蒸镀镀率时间过久的问题。

发明内容

本发明提供一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备，解决现有蒸镀设备加热不均蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化，蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明的实施例提供一种用于蒸镀的加热装置，包括：坩埚，用于盛装蒸镀原料；可移动加热单元，设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料；称重传感装置，设置于所述坩埚的下方，用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出；控制器，用于接收所述称重传感装置的输出，根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度，并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。

可选地，所述可移动加热单元包括：加热单元和用于驱动所述加热单元远离或靠近所述蒸镀原料的驱动机构。

优选地，所述驱动机构包括：至少两个立柱，其长度方向垂直于所述坩埚的底部；设置于所述立柱上的可移动支架，所述加热单元的两个端部分别固定于两个立柱的可移动支架上；驱动马达，用于驱动所述可移动支架沿所述立柱移动。

优选地，所述加热单元包括：加热丝，贴靠于所述坩埚外壁。

优选地，所述控制器具体用于控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度，使所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度保持恒定。

进一步地，所述加热装置，还包括：温度传感装置，用于测量所述蒸镀原料的温度；

所述温度传感装置与所述控制器相连，所述控制器还用于根据所述蒸镀原料的温度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。

可选地，所述坩埚包括坩埚主腔体和设置于所述坩埚主腔体内的坩埚本体，所述称重传感装置设置于所述坩埚主腔体内，且位于所述坩埚本体的下方。

可选地，所述称重传感装置为半导体压力传感器。