[发明专利]用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种用于OLED有机材料蒸镀的加热装置，其特征在于，包括：

坩埚，用于盛装蒸镀原料；

可移动加热单元，设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料；

称重传感装置，设置于所述坩埚的下方，用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出；

控制器，用于接收所述称重传感装置的输出，根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度，并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述可移动加热单元包括：加热单元和用于驱动所述加热单元远离或靠近所述蒸镀原料的驱动机构。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述驱动机构包括：

至少两个立柱，其长度方向垂直于所述坩埚的底部；

设置于所述立柱上的可移动支架，所述加热单元的两个端部分别固定于两个立柱的可移动支架上；

驱动马达，用于驱动所述可移动支架沿所述立柱移动。

4.根据权利要求2或3所述的加热装置，其特征在于，所述加热单元包括：加热丝，贴靠于所述坩埚外壁。

5.根据权利要求1-3任一项所述的加热装置，其特征在于，所述控制器具体用于控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度，使所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度保持恒定。

6.根据权利要求1-3任一项所述的加热装置，其特征在于，还包括：温度传感装置，用于测量所述蒸镀原料的温度；

所述温度传感装置与所述控制器相连，所述控制器还用于根据所述蒸镀原料的温度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。

7.根据权利要求1-3任一项所述的加热装置，其特征在于，所述坩埚包括坩埚主腔体和设置于所述坩埚主腔体内的坩埚本体，所述称重传感装置设置于所述坩埚主腔体内，且位于所述坩埚本体的下方。

8.根据权利要求1-3任一项所述的加热装置，其特征在于，所述称重传感装置为半导体压力传感器。

9.一种用于OLED有机材料蒸镀的蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的加热装置。