[发明专利]一种MOCVD系统

权利要求书

1.一种MOCVD系统，包括第一腔室和外壳，第一腔室包含环形衬板和排气孔，排气孔位于环形衬板内，系统用于生长外延晶片，其特征在于，所述环形衬板由复数块子衬板和移动件组成，排气孔位于相邻子衬板之间，所述子衬板分别通过移动件移动，所述子衬板通过移动实现晶片碎片的清除功能，移动件包括旋转件或伸缩件；

相邻的两块子衬板分别为第一子衬板和第二子衬板；

移动件为旋转件时，第一子衬板和第二子衬板各自与旋转件连接，构成一碎片清除装置，旋转件带动第一子衬板和第二子衬板旋转，形成倾倒角度；

移动件为伸缩件时，伸缩件控制第一子衬板和第二子衬板伸缩移动，当子衬板缩进伸缩件时，晶片碎片从子衬板上掉落。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述子衬板一端具有弧形结构，相邻两子衬板具有弧形结构的一端连接组成孔状结构，所述孔状结构与所述排气孔的进气口对应。

3.根据权利要求1所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述排气孔与排气管相连，所述排气管管壁上分布有复数个孔洞。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述环形衬板下方设有第二腔室，用于承载从子衬板清理下来的晶片碎片。

5.根据权利要求4所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述第二腔室具有排屑孔。

6.根据权利要求5所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述第二腔室底部具有波浪状起伏，所述排屑孔位于波浪状的波谷，便于晶片的碎片排出。

7.根据权利要求5所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述排屑孔数目与移动件数目相同。

8.根据权利要求5所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述排屑孔位于对应移动件的正下方。

9.根据权利要求1所述的一种MOCVD系统，其特征在于，所述移动件固定在外壳上，通过电路受外部控制。