[其他]形状测定装置有效
申请号: | 201590000652.3 | 申请日: | 2015-09-18 |
公开(公告)号: | CN206504714U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 高桥忠 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B21/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 刘影娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 | ||
1.一种形状测定装置,其测定板状体的面形状,其特征在于,
所述形状测定装置具备:流体浮起部,其向所述板状体排出流体,并且将所述板状体支承为以平置姿态浮起的状态;以及测定部,其测定表示所述浮起的状态下的所述板状体的面形状的面形状数据,
所述形状测定装置具有多个所述流体浮起部,并且多个所述流体浮起部配置为彼此分离,
多个所述流体浮起部以使所述板状体倾斜的方式支承所述板状体。
2.根据权利要求1所述的形状测定装置,其特征在于,
在多个所述流体浮起部的彼此之间形成有流出路,该流出路使所述流体从所述浮起的状态下的所述板状体的下部空间向其外部流出。
3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
多个所述流体浮起部分别在沿一方向形成为长条的壳体部的上表面设置有排出所述流体的排出部,多个所述壳体部平行地排列配设。
4.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述形状测定装置具备限制所述板状体的主面方向的移动的限制构件。
5.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述板状体形成为矩形状,多个所述流体浮起部以使所述板状体从对置的一方的拐角部朝向另一方的拐角部而下降倾斜的方式支承所述板状体。
6.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
多个所述流体浮起部的彼此之间的分离尺寸是10mm以上且200mm以下。
7.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述测定部包括:位移计,其以非接触的方式测定从预先明确的位置到所述板状体的表面的距离信息;驱动扫描部,其在所述板状体的上方驱动所述位移计,对所述板状体的表面进行扫描;以及处理部,其通过所述位移计的扫描而获取所述板状体的多个位置处的所述距离信息,并且根据所获取的多个距离信息生成所述面形状数据。
8.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述形状测定装置还具备运算部,该运算部根据由所述测定部测定的面形状数据、以及表示通过多个所述流体浮起部的各上表面的基准面的形状的基准面形状数据,从而求出修正面形状数据。
9.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述形状测定装置还具备运算部,该运算部针对所述板状体的表面侧以及背面侧分别获取所述面形状数据,并且根据这两个数据求出修正面形状数据。
10.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其特征在于,
所述形状测定装置还具备运算部,该运算部在使所述板状体沿着使多个所述流体浮起部彼此分离的方向移动其分离尺寸的1/2的前后,分别测定所述面形状数据,根据这两个数据求出修正面形状数据。
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