[其他]感应装置及包括感应装置的系统

说明书

本文描述的某些实施方案涉及感应装置及包括感应装置的系统。在某些配置中，所述感应装置用于在包括纵轴的喷灯中维持离子化源，在所述喷灯的操作期间沿着所述纵轴引入气体流，所述感应装置包括：基部，其被配置来提供包括内孔的线圈，所述内孔被构造和布置来接收所述喷灯的主体；和径向翅片，其耦接到所述基部，其中所述感应装置被配置来将射频能量提供到所述喷灯的所述主体以在所述喷灯内维持所述离子化源。

优先权申请

本申请案涉及2014年1月28日提交的美国临时申请案第 61/932,418号并要求其优先权，其全部公开内容以引用的方式并入本文中用于所有目的。

技术领域

本申请案涉及感应装置及其使用方法。更特定而言，本文中描述的某些实施方案是针对一种感应装置，其包括一个或多个径向翅片或突片。

背景技术

感应装置通常用于在喷灯(torch)主体内维持等离子体。等离子体包括带电粒子。等离子体可具有许多用途，包括原子化和/或离子化化学物质。

发明内容

在一些方面，描述一种用于在包括纵轴的喷灯中维持离子化源的装置，在所述喷灯的操作期间沿着所述纵轴引入气体流，所述装置包括基部，其被配置来提供线圈，所述线圈包括内孔，其被构造和布置以接收所述喷灯的主体，和耦接到基部的径向翅片，其中所述装置被配置来将射频能量提供到所述喷灯主体，以在喷灯内维持离子化源。在某些实施方案中，径向翅片定向成不平行于喷灯的纵轴，且离开由基部形成的孔径延伸。在其它实施方案中，径向翅片与喷灯的纵轴正交。在一些实例中，径向翅片在基部上的位置可调节而无需将径向翅片从基部解耦。在其它实例中，径向翅片通过紧固件耦接到基部。在一些例子中，径向翅片一体地耦接到基部。在一些配置中，装置包括耦接到基部的多个径向翅片。在其它配置中，所述径向翅片的至少两个包括相同角度。在一些实施方案中，当基部没有盘绕时，多个径向翅片的每个对于基部成角呈大致相同的角度。在其它实施方案中，当基部没有盘绕时，所述多个径向翅片的至少两个对于基部成角呈不同角度。在一些例子中，多个径向翅片的至少两个具有不同的截面形状。在其它实例中，径向翅片包括翅片中的至少一个孔径。在一些实例中，所述孔径被配置为通孔，其被定位成大致平行于喷灯的纵轴。在其它实施方案中，翅片孔径朝向由基部形成的孔径成角。在一些实例中，所述装置包括耦接到基部的多个径向翅片，其中所述径向翅片的至少两个包括翅片中的孔径，其中所述两个径向翅片中的孔径被不同地构造和布置。在其它实例中，径向翅片被定向成不平行于喷灯的纵轴，且在由基部形成的孔径内向内延伸。在一些例子中，径向翅片正交于喷灯的纵轴。在其它实例中，所述装置包括耦接到基部的多个径向翅片，其中所述多个径向翅片的每个被定向成不平行于喷灯的纵轴，且所述多个翅片的每个在由基部形成的孔径内向内延伸。在一些实施方案中，所述装置包括耦接到基部的多个径向翅片，其中所述多个径向翅片的每个被定向成不平行于喷灯的纵轴，且至少一个径向翅片在由基部形成的孔径内向内延伸。在其它实例中，所述装置包括耦接到基部的多个径向翅片，其中所述多个径向翅片的至少一个径向翅片离开由所述基部形成的孔径延伸，且所述多个径向翅片的至少一个径向翅片在由所述基部形成的孔径内向内延伸。在一些实例中，所述装置包括间隔器，其被配置来接合基部相邻圈上的相邻径向翅片。在一些实施方案中，所述间隔器被配置来将相邻翅片保持在相同平面内。在其它实施方案中，所述间隔器被配置来将相邻翅片保持在不同平面内。

在另一方面，提供一种用于维持离子化源的系统，所述系统包括喷灯，其包括主体，所述主体包括纵轴，在所述喷灯的操作期间沿着所述纵轴引入气体流，和装置，其包括被构造和布置成线圈的基部，所述线圈包括被配置来接收所述喷灯主体的一部分的内孔，所述装置进一步包括耦接到所述基部的径向翅片，其中所述装置被配置来将射频能量提供到所述喷灯主体由所述孔径接收的部分，以在所述喷灯主体的所述部分内维持离子化源。