[其他]感应装置及包括感应装置的系统

权利要求书

1.一种感应装置，所述感应装置用于在包括纵轴的喷灯中维持离子化源，在所述喷灯的操作期间沿着所述纵轴引入气体流，所述感应装置包括：

基部，其被配置来提供包括内孔的线圈，所述内孔被构造和布置来接收所述喷灯的主体；和

径向翅片，其耦接到所述基部，其中所述感应装置被配置来将射频能量提供到所述喷灯的所述主体以在所述喷灯内维持所述离子化源。

2.根据权利要求1所述的感应装置，其中所述径向翅片被定向成不平行于所述喷灯的所述纵轴，且离开由所述基部形成的所述内孔延伸。

3.根据权利要求2所述的感应装置，其中所述径向翅片与所述喷灯的所述纵轴正交。

4.根据权利要求1所述的感应装置，其中所述径向翅片在所述基部上的位置可调节而无需将所述径向翅片从所述基部解耦。

5.根据权利要求4所述的感应装置，其中所述径向翅片通过紧固件耦接到所述基部。

6.根据权利要求1所述的感应装置，其中所述径向翅片一体地耦接到所述基部。

7.根据权利要求2所述的感应装置，其进一步包括耦接到所述基部的多个径向翅片。

8.根据权利要求7所述的感应装置，其中所述径向翅片的至少两个包括相同角度。

9.根据权利要求7所述的感应装置，其中当所述基部没有盘绕时，所述多个径向翅片的每个对于所述基部成角呈大致相同的角度。

10.根据权利要求7所述的感应装置，其中当所述基部没有盘绕时，所述多个径向翅片的至少两个对于所述基部成角呈不同角度。

11.根据权利要求7所述的感应装置，其中所述多个径向翅片的至少两个具有不同的截面形状。

12.根据权利要求7所述的感应装置，其进一步包括间隔器，所述间隔器被配置来接合相邻的径向翅片。

13.根据权利要求12所述的感应装置，其中所述间隔器被配置来将所述相邻的径向翅片保持在相同平面内。

14.根据权利要求12所述的感应装置，其中所述间隔器被配置来将所述相邻的径向翅片保持在不同平面内。

15.根据权利要求1所述的感应装置，其中所述径向翅片包括在所述径向翅片中的至少一个孔。

16.根据权利要求15所述的感应装置，其中所述孔被配置为通孔，所述通孔被定位成大致平行于所述喷灯的所述纵轴。

17.根据权利要求15所述的感应装置，其中所述在所述径向翅片中的孔朝向由所述基部形成的所述孔成角。

18.根据权利要求1所述的感应装置，其进一步包括耦接到所述基部的多个径向翅片，其中所述径向翅片的至少两个包括所述翅片中的孔，其中所述两个径向翅片中的所述孔被不同地构造和布置。

19.根据权利要求1所述的感应装置，其中所述径向翅片被定向成不平行于所述喷灯的所述纵轴，且在由所述基部形成的所述内孔内向内延伸。

20.根据权利要求19所述的感应装置，其中所述径向翅片与所述喷灯的所述纵轴正交。

21.根据权利要求19所述的感应装置，其进一步包括耦接到所述基部的多个径向翅片，其中所述多个径向翅片的每个被定向成不平行于所述喷灯的所述纵轴，且所述多个径向翅片的每个在由所述基部形成的所述内孔内向内延伸。