[其他]工作台装置、输送装置和半导体制造装置

说明书

本实用新型涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置，其中，工作台装置（100）包括：第一部件（1），其能够在规定面内移动；第二部件（2），其能够相对于第一部件进行相对移动；第一导向装置（4），其至少一部分配置于第一部件，引导第二部件以使第二部件通过第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，第一轴与规定面正交；工作台，其具有由第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置（5），其至少一部分与工作台的多个第二部分分别连接，引导工作台以使工作台在与第一轴平行的方向上移动，上述多个第二部分以包围第一部分的方式配置。

技术领域

本实用新型涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置。

背景技术

在输送装置中，使用例如如专利文献1中公开的设置有能够移动的工作台的工作台装置。

专利文献1：日本特开2004－195620号公报

实用新型内容

在工作台装置中，如果在需要使工作台沿目标轨道移动时，该工作台偏离目标轨道，则有可能导致设置有该工作台装置的输送装置的性能降低。例如虽然需要使工作台在铅垂方向上笔直地移动，但是如果该工作台不笔直地移动，则工作台的定位精度降低。由此，有可能无法将载置于该工作台上的物体配置于期望的位置。

本实用新型的目的在于提供一种能够使工作台沿目标轨道移动的工作台装置。此外，本实用新型的目的在于提供一种能够抑制性能降低的输送装置。

本实用新型的第一形态，提供一种工作台装置，其包括：第一部件，其能够在规定面内移动；第二部件，其能够相对于上述第一部件进行相对移动；第一导向装置，其至少一部分配置于上述第一部件，引导上述第二部件以使上述第二部件通过上述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，上述第一轴与上述规定面正交；工作台，其具有由上述第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置，其至少一部分与上述工作台的多个第二部分分别连接，引导上述工作台以使述工作台在与上述第一轴平行的方向上移动，上述多个第二部分以包围上述第一部分的方式配置。

根据本实用新型的第一形态，由于以包围第二部件的方式设置多个第二导向装置，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。第二导向装置在与第一轴平行的方向上对工作台进行引导。因此，工作台能够在与第一轴平行的方向上笔直地移动。由此，能够抑制工作台的定位精度的降低。因此，能够将工作台及由该工作台支承的物体配置在目标位置。

在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一部分在上述规定面内包含上述工作台的中央部，上述第二部分在上述规定面内配置于上述工作台的边缘部。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。

在本实用新型的第一形态中，也可以是在上述规定面内上述工作台呈矩形，上述第二导向装置与上述工作台的四个角部分别连接。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。

在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一部分包含上述工作台的重心，上述第一部分与规定于上述角部的多个上述第二部分中的每个第二部分之间的距离都相等。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。

在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第一导轨；以及第一滑动件，其能够相对于上述第一导轨进行相对移动，上述第二导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第二导轨；以及第二滑动件，其能够相对于上述第二导轨进行相对移动。由此，第一导向装置和第二导向装置能够分别对工作台进行高精度的引导。

在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第二滑动件在与上述第一轴平行的方向上配置有多个。由此，第二导向装置能够对工作台进行高精度的引导。