[其他]工作台装置、输送装置和半导体制造装置

权利要求书

1.一种工作台装置，其特征在于，包括：

第一部件，其能够在规定面内移动；

第二部件，其能够相对于所述第一部件进行相对移动；

第一导向装置，其至少一部分配置于所述第一部件，引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，所述第一轴与所述规定面正交；

工作台，其具有由所述第二部件支承的第一部分；以及

多个第二导向装置，其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接，引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动，所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,

在所述规定面内所述工作台呈矩形，

所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接，

四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其特征在于：

所述第一部分在所述规定面内包含所述工作台的中央部，

所述第二部分在所述规定面内配置于所述工作台的边缘部。

3.根据权利要求1所述的工作台装置，其特征在于：

所述第一部分包含所述工作台的所述重心，

所述第一部分与规定于所述角部的多个所述第二部分中的每个第二部分之间的距离都相等。

4.根据权利要求1所述的工作台装置，其特征在于：

所述第一导向装置具有直线运动式滚动轴承，该直线运动式滚动轴承包括：第一导轨；以及第一滑动件，其能够相对于所述第一导轨进行相对移动，

所述第二导向装置具有直线运动式滚动轴承，该直线运动式滚动轴承包括：第二导轨；以及第二滑动件，其能够相对于所述第二导轨进行相对移动。

5.根据权利要求4所述的工作台装置，其特征在于：

所述第二滑动件在与所述第一轴平行的方向上配置有多个。

6.根据权利要求5所述的工作台装置，其特征在于，包括：

致动器，其产生动力，以使所述第一部件在与所述规定面内的第二轴平行的方向上移动；以及

第三导向装置，其在与所述第二轴平行的方向上对所述第一部件进行引导，

所述第三导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第三导轨；以及第三滑动件，其能够相对于所述第三导轨进行相对移动。

7.根据权利要求6所述的工作台装置，其特征在于，包括：

所述第三导轨配置于所述第一部件，且所述第三滑动件被固定。

8.一种输送装置，其特征在于：

具有权利要求1所述的工作台装置。

9.一种半导体制造装置，其特征在于：

具有权利要求1所述的工作台装置。