[发明专利]用于在真空处理腔室中进行基板处理期间保持基板的保持布置、用于在真空处理腔室中支撑基板的载体和用于保持基板的方法

权利要求书

1.一种用于在真空处理腔室中进行基板处理期间保持基板的保持布置，所述保持布置包括：

柔性装置，所述柔性装置具有一个或多个区段，其中所述一个或多个区段在第一操作条件下被提供以具有第一部分、第二部分和弯曲部分，其中所述弯曲部分被提供在所述第一部分与所述第二部分之间，其中所述第一部分具有表面，所述表面经构造以面向所述基板，并且其中所述第一部分和所述第二部分相对于彼此是可移动的；和

粘合剂，所述粘合剂提供在所述第一部分的所述表面上。

2.如权利要求1所述的保持布置，其中所述一个或多个区段是彼此柔性地连接的三个或更多个元件。

3.如权利要求2所述的保持布置，其中所述三个或更多个元件使用铰链彼此连接。

4.如权利要求3所述的保持布置，其中所述粘合剂是粘合带，并且其中所述粘合带缠绕在所述铰链中的至少一些上。

5.如权利要求2至4中任一项所述的保持布置，其中所述三个或更多个元件是笔直元件和链节中的至少一者。

6.如权利要求2至5中任一项所述的保持布置，其中所述弯曲部分由所述三个或更多个元件中的至少一个元件提供。

7.如权利要求2至6中任一项所述的保持布置，其中所述三个或更多个元件是刚性的。

8.如权利要求1所述的保持布置，其中所述一个或多个区段是由柔性带提供的一个区段。

9.如权利要求8所述的保持布置，其中所述弯曲部分由所述柔性带的弯曲区段提供。

10.如权利要求1至9中任一项所述的保持布置，其中所述粘合剂是合成刚毛材料。

11.一种用于在真空处理腔室中支撑基板的载体，所述载体包括：

载体主体；和

一个或多个保持布置，所述保持布置是根据权利要求1至10中任一项所述的保持布置，其中所述一个或多个保持布置安装在所述载体主体上。

12.如权利要求11所述的载体，其中所述一个或多个保持布置安装在所述载体主体上以保持所述基板悬置。

13.一种用于在真空处理腔室中支撑基板的载体，所述载体包括：

至少一个柔性装置，所述至少一个柔性装置至少部分地覆盖有粘合剂，所述粘合剂用于将所述柔性装置可移除地附接到所述基板。

14.如权利要求11至13中任一项所述的载体，其中所述载体经构造以在竖直取向上保持所述基板。

15.一种用于保持基板的方法，所述方法包括：

围绕平行于基板表面的旋转轴线执行保持布置的柔性装置的第一滚动运动，以使所述柔性装置的第一部分上的粘合剂与所述基板表面接触。

16.如权利要求15所述的方法，进一步包括：

围绕所述旋转轴线执行所述柔性装置的第二滚动运动，以释放所述粘合剂与所述基板表面之间的所述接触。

17.一种用于保持基板的方法，所述方法包括：

提供载体，所述载体包括至少一个柔性装置，所述至少一个柔性装置至少部分地覆盖有粘合剂；

通过使所述粘合剂附着到所述基板以将所述基板附接到所述载体；

使所述载体和所述基板一起移动通过真空处理腔室；和

通过将所述粘合剂从所述基板剥离来使所述基板从所述载体脱离。