[发明专利]氦气泄漏探测器

说明书

本发明能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

技术领域

本发明涉及一种氦气泄漏探测器。

背景技术

若利用氦气泄漏探测器实施检查，则已知有因检查中使用的氦气而背景(background)上升的问题。在不对背景的上升采用任何对策的情况下，会将上升的背景误检出为泄漏，从而导致无法进行检查。因此，采用将测定值的零点修正为上升的背景值的对策。

专利文献1中揭示了一种具备对气体泄漏显示的零点进行修正的操作开关的气体泄漏探测器。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2013-83573号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

专利文献1中记载的发明中，无法进行使用了理论上的背景的测定值的修正。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的优选的实施形态的氦气泄漏探测器经由夹具而连接于试验体。所述氦气泄漏探测器包括：界面部，具备被输入关于夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏；氦气检出部，检出氦气；以及修正部，基于从界面部输入的关于分压的信息、从界面部输入的关于时间的信息及预先输入的夹具的基准透过饱和量，对氦气检出部检出的检出结果进行修正。

(2)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于分压的信息为大气压下的氦气浓度。

(3)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为基于夹具暴露于氦气中的时间而决定的相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。

(4)进而优选的实施形态中，输入至氦气泄漏探测器的界面部的关于时间的信息为夹具暴露于氦气中的时间，氦气泄漏探测器还包括存储饱和率信息的存储部，所述饱和率信息表示夹具暴露于氦气中的时间与相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例的对应，修正部基于输入至界面部的关于时间的信息、与存储部中存储的饱和率信息，算出相对于夹具的基准透过饱和量的累积比例。

(5)进而优选的实施形态中，氦气泄漏探测器的界面部还包括被输入夹具的基准透过饱和量的输入栏。

[发明的效果]

根据本发明，能够进行使用了理论上的背景的测定值的修正。

附图说明

图1是表示氦气泄漏探测器10的构成的方块图。

图2是说明气体处理部19的构成及动作的图。

图3(a)是表示氦气泄漏探测器10的外观的概略图，图3(b)是表示设定画面的图。

图4是表示进行泄漏测试的状况的图。

图5是表示暴露时间与氦气透过量的关系的一例的图。

图6是表示用以获得暴露时间与氦气透过量的关系、及氦气透过量的基准值的预备试验的顺序的流程图。

图7是表示变形例1的设定画面的图。

图8是表示不应用本发明的情况下的、氦气浓度相对于真空排气的时间的经过的变化的图。