[发明专利]氦气泄漏探测器有效

专利信息
申请号: 201580082661.6 申请日: 2015-08-31
公开(公告)号: CN107949781B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 井川秋夫 申请(专利权)人: 岛津EMIT株式会社
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本滋贺县*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 氦气 泄漏 探测器
【权利要求书】:

1.一种氦气泄漏探测器,经由夹具而连接于试验体,所述氦气泄漏探测器包括:

界面部,具备被输入关于所述夹具所暴露的氦气的分压的信息、及关于所述夹具暴露于氦气中的时间的信息的输入栏;

氦气检出部,检出氦气;以及

修正部,基于从所述界面部输入的关于所述分压的信息而获得的压力比率、从所述界面部输入的关于所述时间的信息而获得的暴露时间饱和率及预先输入的所述夹具的基准透过饱和量,对所述氦气检出部检出的检出结果进行修正,

输入至所述界面部的关于所述时间的信息为所述夹具暴露于氦气中的时间,

所述氦气泄漏探测器还包括存储饱和率信息的存储部,所述饱和率信息表示所述夹具暴露于氦气中的时间与相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例的对应,

所述修正部基于输入至所述界面部的关于所述时间的信息、与所述存储部中存储的所述饱和率信息,算出相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例。

2.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器,其中,

输入至所述界面部的关于所述分压的信息为大气压下的氦气浓度。

3.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器,其中,

输入至所述界面部的关于所述时间的信息为基于所述夹具暴露于氦气中的时间而决定的相对于所述夹具的基准透过饱和量的累积比例。

4.根据权利要求1所述的氦气泄漏探测器,其中,

所述界面部还包括被输入所述夹具的基准透过饱和量的输入栏。

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