[发明专利]X射线检查装置、X射线检查方法及构造物的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580079138.8 申请日: 2015-04-24
公开(公告)号: CN107533018B 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 八嶋紘宽;道本隆裕;坂口直史 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01N23/046 分类号: G01N23/046;G01N23/18;G01N23/083
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 射线 检查 装置 方法 构造 制造
【说明书】:

X射线检查装置具备:射线源,用于向旋转的检查对象照射X射线;检测器,用于检测从射线源发射并透射检查对象的透射X射线,并针对每个旋转角度,输出多个检测数据;区域提取单元,用于使用多个检测数据,提取检查对象投影在检测器上的区域。

技术领域

本发明涉及一种X射线检查装置、X射线检查方法及构造物的制造方法。

背景技术

作为无损获取检查对象的内部信息的装置,例如,已知有如下述专利文献中所公开的装置,该装置向检查对象照射X射线,检测透射该检查对象的透射X射线。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:美国专利申请公开2009/0268869号公报

发明内容

发明要解决的课题

利用X射线检测检查对象时,例如,X射线源和检查对象会因X射线源和检查对象的距离原因而产生碰撞,因此可能产生检测故障。另外,例如,检查对象和检测器会因检查对象和检测器的距离原因而产生碰撞,因此可能产生检测故障。另外,例如,检查对象与X射线源及检测器会因X射线源与检查对象及检测器各自的距离原因而产碰撞,因此可能产生检测故障。另外,当检查对象在检测器上投影产生投影图像时,优选在检测器上更广的区域内检测投影图像。

用于解决课题的手段

根据本发明的第一种方式,X射线检查装置具备:射线源,用于向旋转的检查对象照射X射线;检测器,用于检测从射线源发射并透射检查对象的透射X射线,并针对每个旋转角度,输出多个检测数据;区域提取单元,用于使用多个检测数据,提取检查对象投影在检测器上的区域。

根据本发明的第二方式,在第一种方式的X射线检查装置中,优选地,进一步具备:变更单元,用于基于区域提取单元提取的区域,变更检查对象和射线源之间的相对距离。

根据本发明的第三方式,在第二方式的X射线检查装置中,优选地,具备:计算单元,用于基于区域提取单元提取的区域,检查对象与射线源之间的相对距离的变更量;变更单元根据计算单元所算出的变更量来变更相对距离。

根据本发明的第四方式,在第一至第三方式中的任意一种方式的X射线检查装置中,优选地,区域提取单元复合多个检测数据而生成复合数据,提取复合数据中的检查对象的外缘部作为区域。

根据本发明的第五方式,在第四方式的X射线检查装置中,优选地,区域提取单元生成复合数据,通过对复合数据进行二值化处理而提取区域。

根据本发明的第六方式,在第五方式的X射线检查装置中,优选地,在提取区域的外缘部中,区域提取单元提取第一方向最外缘部及第二方向最外缘部,第一方向最外缘部在与旋转轴垂直的第一方向上与检测器的检测范围的距离最短;第二方向最外缘部在沿旋转轴的第二方向上与检测器的检测范围的距离最短,计算单元基于第一方向最外缘部及第二方向最外缘部中距检测器的检测范围的距离较短的最外缘部,计算相对距离的变更量。

根据本发明的第七方式,在第六方式的X射线检查装置中,优选地,在复合数据中,在第一线段与第二线段所围成的矩形区域内,计算单元基于第一线段与检测器的检测区域中沿第一方向的长度的第一比率及第二线段与检测器的检测范围中沿第二方向的长度的第二比率中的一者,计算相对距离的变更量,其中,第一线段与提取区域的外缘部接触且沿着第一方向;第二线段与提取区域的外缘部接触且沿着与第一方向相交的第二方向。

根据本发明的第八方式,在第七方式的X射线检查装置中,优选地,计算单元对基于第一比率的相对距离的第一变更量与基于第二比率的相对距离的第二变更量进行比较,并计算第一及第二变更量中的较小值作为相对距离的变更量。

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