[发明专利]X射线检查装置、X射线检查方法及构造物的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580079138.8 申请日: 2015-04-24
公开(公告)号: CN107533018B 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 八嶋紘宽;道本隆裕;坂口直史 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01N23/046 分类号: G01N23/046;G01N23/18;G01N23/083
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 射线 检查 装置 方法 构造 制造
【权利要求书】:

1.X射线检查装置,其特征在于具备:

射线源,用于向检查对象照射X射线;

检测器,用于检测从所述射线源发射并透射所述检查对象的透射X射线,并输出从多个方向透射所述检查对象的X射线的检测数据;

生成单元,复合多个所述检测数据从而生成复合数据;

设定单元,用所述复合数据,在检查时设定所述射线源与所述检查对象以及所述检测器之间相对的位置关系。

2.根据权利要求1所述的X射线检查装置,其特征在于,进一步具备:

变更单元,用于基于所述设定单元设定的相对位置关系,变更所述射线源与所述检查对象以及所述检测器各自之间的相对距离。

3.根据权利要求2所述的X射线检查装置,其特征在于,具备:

计算单元,用于计算所述射线源与所述检查对象以及所述检测器各自之间的相对距离的变更量,

所述变更单元根据所述计算单元所算出的所述变更量来变更所述相对距离。

4.根据权利要求3所述的X射线检查装置,其特征在于,具备:

区域提取单元,用所述复合数据,提取所述检查对象在所述检测器上投影区域;

所述计算单元根据所述区域提取单元所提取的区域计算所述相对位置关系。

5.根据权利要求4所述的X射线检查装置,其特征在于,

所述区域提取单元提取所述复合数据中的所述检查对象的外缘部作为所述提取投影区域。

6.根据权利要求5所述的X射线检查装置,其特征在于,

在所述提取投影区域的外缘部中,所述区域提取单元提取第一方向最外缘部及第二方向最外缘部,第一方向最外缘部在与旋转轴垂直的第一方向上与所述检测器的检测范围的距离最短;第二方向最外缘部在沿旋转轴的第二方向上与所述检测器的检测范围的距离最短,

所述计算单元基于所述第一方向最外缘部及所述第二方向最外缘部中距所述检测器的检测范围的距离较短的最外缘部,计算所述相对距离的变更量。

7.根据权利要求6所述的X射线检查装置,其特征在于,

在所述复合数据中,在第一线段与第二线段所围成的矩形区域内,所述计算单元基于所述第一线段与所述检测器的检测区域中沿所述第一方向的长度的第一比率及所述第二线段与所述检测器的检测范围中沿所述第二方向的长度的第二比率中的一者,计算所述相对距离的变更量,其中,第一线段与所述提取投影区域的外缘部接触且沿着第一方向;第二线段与所述提取投影区域的外缘部接触且沿着与所述第一方向相交的第二方向。

8.根据权利要求7所述的X射线检查装置,其特征在于,

所述计算单元对基于所述第一比率的所述相对距离的第一变更量与基于所述第二比率的所述相对距离的第二变更量进行比较,并计算所述第一及第二变更量中的较小值作为所述相对距离的变更量。

9.根据权利要求4至8中任意一项权利要求所述的X射线检查装置,其中,所述区域提取单元通过对所述复合数据进行二值化处理来提取所述提取投影区域。

10.根据权利要求7或8所述的X射线检查装置,其特征在于,

所述变更单元基于所述计算单元所算出的所述相对距离的变更量,使所述检查对象或所述射线源沿所述射线源的光轴方向移动,从而变更所述相对距离。

11.根据权利要求10所述的X射线检查装置,其特征在于,具备:

旋转放置单元,用于放置所述检查对象并使其旋转,

所述变更单元使所述旋转放置单元沿所述射线源的光轴方向移动,从而变更所述检查对象与所述射线源的相对距离。

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