[发明专利]封装装置有效
申请号: | 201580073608.X | 申请日: | 2015-10-23 |
公开(公告)号: | CN107211567B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 瀬山耕平 | 申请(专利权)人: | 株式会社新川 |
主分类号: | H05K13/04 | 分类号: | H05K13/04;H01L21/60;H01L21/677 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京武藏村*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 装置 | ||
1.一种封装装置,其包括:
主台座,安装着封装平台;
门形框架,以跨越所述主台座上的方式而沿Y方向延伸且其两端分别沿X方向移动自如地支持于所述主台座上;
封装头,沿Y方向移动自如地支持于所述门形框架;
X方向线性马达,将所述门形框架沿X方向驱动;
Y方向线性马达,将所述封装头沿Y方向驱动;
副台座,与所述主台座隔开而配置;以及
Y方向负荷支承部,以沿X方向移动自如且Y方向的移动被约束的方式安装于所述副台座;
所述X方向线性马达包含:安装于所述副台座的X方向固定件,及安装于所述门形框架的端部的X方向可动件,
所述Y方向线性马达包含:相对于所述门形框架而沿Y方向移动自如地安装的Y方向固定件,及安装于所述封装头的Y方向可动件,
所述封装装置包括将所述Y方向固定件的一端与所述Y方向负荷支承部连接的连接构件,
所述Y方向固定件相对于所述门形框架经由在Y方向具有自由度的板弹簧而被安装着,
所述封装头、所述门形框架及所述Y方向线性马达为多个,各所述封装头分别支持于各所述门形框架且利用各Y方向线性马达而沿Y方向驱动,
在各所述门形框架的各端部分别安装着X方向可动件,在各端部侧分别与共用的X方向固定件组合,且在各所述端部侧分别构成多个X方向线性马达。
2.根据权利要求1所述的封装装置,其中
所述Y方向负荷支承部为多个且被安装于所述副台座的共用构件,
所述连接构件为多个且各所述连接构件将各所述Y方向固定件与各所述Y方向负荷支承部连接。
3.根据权利要求1或2所述的封装装置,其包括:
各位置检测传感器,对各所述X方向可动件相对于所述主台座的各X方向位置进行检测;以及
控制部,对由各所述位置检测传感器检测到的各X方向可动件的各X方向位置数据进行反馈而进行各X方向可动件的位置控制。
4.根据权利要求1或2所述的封装装置,其包括:
各位置检测传感器,对各所述Y方向可动件相对于支持于所述主台座的门形框架的各Y方向位置进行检测;以及
控制部,对由各所述位置检测传感器检测到的各Y方向可动件的各Y方向位置数据进行反馈而进行各Y方向可动件的位置控制。
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