[发明专利]抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜

说明书

提供一种在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物、使用该固化性组合物得到的抗蚀永久膜。具体而言，提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物、使该组合物固化而成的抗蚀永久膜，所述抗蚀永久膜用固化性组合物含有：具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)和、感光剂(B1)或固化剂(B2)(式(1)中，R¹为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R²为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R²可以彼此相同，也可以不同，且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上)。

技术领域

本发明涉及在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物，另外，本发明还涉及使用前述固化性组合物而得到的抗蚀永久膜。

背景技术

含酚羟基化合物可以用于粘接剂、成形材料、涂料、光致抗蚀剂材料、环氧树脂原料、环氧树脂用固化剂等，此外，固化物的耐热性、耐湿性等优异，因此作为将含酚羟基化合物自身作为主剂的固化性树脂组合物，在电气·电子领域中被广泛使用。

在电气·电子领域中，作为前述固化性组合物的用途，例如可列举出永久膜。前述永久膜例如可列举出：在构成IC、LSI等半导体器件、薄型显示器等显示装置的制品的部件上、部件间形成感光性树脂的覆膜且在制品完成后仍残留的永久膜。作为该永久膜的具体例，对于半导体器件相关的，可列举出：阻焊层、封装材料、底部填充材料、电路元件等的封装粘接层、集成电路元件与电路基板的粘接层等。另外，对于以LCD、OELD为代表的薄型显示器相关的，可列举出：薄膜晶体管保护膜、液晶滤色器保护膜、黑色矩阵、间隔物等。

将前述固化性组合物用于永久膜形成用途的情况下，要求该组合物的溶剂溶解性优异，另外，要求得到的涂膜的碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异。作为用于获得前述永久膜的组合物，例如已知有含有使苯酚、萘酚等具有酚羟基的化合物与醛聚合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂的组合物(例如参照专利文献1。)。但是，使用该专利文献1中公开的组合物而得到的涂膜的碱显影性、灵敏度及分辨率不充分。

另外，作为用于获得永久膜的组合物，例如，已知包含具有被称为杯芳烃结构的筒状结构的含酚羟基化合物的组合物。作为该含酚羟基化合物，具体而言，例如已知有使α-萘酚和甲醛以碱土金属氢氧化物作为催化剂反应而得到的萘酚型杯芳烃化合物(例如参照专利文献2。)。但是，专利文献2中公开的萘酚型杯芳烃化合物在有机溶剂中的溶解性不充分，难以制备用于获得永久膜的组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-244663号公报

专利文献2：日本特开2012-162474号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明要解决的问题在于，提供在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物及使用该组合物而得到的抗蚀永久膜。

用于解决问题的方案

本发明人等为了解决上述问题，反复进行了深入研究，结果发现，二羟基萘型的杯芳烃化合物的耐热性显著高、在通用溶剂中的溶解性优异，使用其得到的涂膜的耐热性、感光度、分辨率优异，含有该化合物且含有感光剂或固化剂的组合物适合作为用于形成抗蚀永久膜的组合物等，从而完成了本发明。

即，本发明提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，