[发明专利]抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜

权利要求书

1.一种组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，

式(1)中，R¹为下述结构式(2-1)或(2-2)所示的芳基；n为2～10的整数；R²为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者；m为0～4的整数，m为2以上时，多个R²任选彼此相同或不同，且任选键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上，

式(2-1)或(2-2)中，R³及R⁴分别独立地为羟基、卤素原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基中任意者，k为0～5的整数，l为0～7的整数，k或l为2以上时，多个R³或R⁴任选彼此相同或不同，

所述组合物中，相对于含酚羟基化合物(A)100质量份，含有超过5质量份且不足25质量份或超过25质量份且不足50质量份的所述感光剂(B1)，

相对于含酚羟基化合物(A)100质量份，含有超过0.5质量份且不足5质量份或超过5质量份且不足20质量份的所述固化剂(B2)。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述含酚羟基化合物(A)具有下述结构式(1-1)所示的分子结构，

式(1-1)中，R¹为氢原子、烷基或芳基；n为2～10的整数；R²为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者；m为0～4的整数，m为2以上时，多个R²任选彼此相同或不同，且任选键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述含酚羟基化合物(A)是使二羟基萘化合物和芳香族醛在酸性催化剂的存在下反应而得到的。

4.根据权利要求3所述的组合物，其中，所述二羟基萘化合物为1,6-二羟基萘，所述芳香族醛为4-羟基苯甲醛或水杨醛。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的组合物，其是抗蚀永久膜用固化性组合物。

6.一种抗蚀永久膜，其使用权利要求5所述的抗蚀永久膜用固化性组合物。