[发明专利]靶组件

说明书

本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。

技术领域

本发明涉及一种组装在溅射装置上的靶组件，具体而言涉及一种具有绝缘材料靶以及通过粘接材料与该靶的一面接合的背板，背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分的靶组件。

背景技术

例如在NAND型闪存或MRAM(磁阻存储器)的制造工序中，会实施形成氧化铝膜或氧化镁膜等绝缘膜的工序，为批量生产绝缘膜而使用溅射装置。在这种溅射装置中，装卸自如地组装在可抽真空的真空室内的靶组件由根据待成膜的薄膜的成分而适当选择的靶以及在溅射该靶进行成膜时用于冷却的背板一体成型构成。

这样的靶组件已知例如有专利文献1。在该靶组件中，背板由热传导性良好的铜等金属制成，具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分。并且，靶组件可利用该延伸部分而固定在溅射装置的规定位置上。再有，在将靶组件组装到溅射装置上后，为了使放电稳定等，通常与延伸部分相对设置围绕靶周围的环形屏蔽板。

然而，在将靶组件和屏蔽板组装到溅射装置上的状态下，靶侧面和屏蔽板之间存在间隙。并且，一旦成膜时在真空室中产生等离子体，则存在等离子体中的电子就会通过上述间隙使金属材质的延伸部分带电的情况。一旦延伸部分上带有电子，则由于靶是绝缘材料，所以导致因该靶侧面和延伸部分的电位差而发生异常放电，因此存在粘接材料向外部渗出的情况。在这种状态下成膜的话，在基板表面上形成的绝缘膜中会混入金属，即产生所谓的污染，因此而妨碍良好成膜。

为防止粘接材料渗出，本申请人在在先申请(专利申请2014－163095)中，提出一种阴极组件，其中接合有靶的背板的接合部分相对延伸部分而凸出设置，对从延伸部分到接合部分的侧面进行粗化处理，在从延伸部分到靶的侧面上形成绝缘材料膜。此处，在背板的寿命比靶长时，背板会被再利用。即一旦达到规定的处理片数，就从溅射装置中取下靶组件，除去粘接材料并将已使用完的靶和背板分离，使用粘接材料将未使用的靶接合在背板上，将如此得到的靶组件组装到溅射装置上。

但是，在上述在先申请中，在去除粘接材料前需要去除绝缘材料膜，而该绝缘材料膜很难去除。进而，需要在将未使用的靶接合到背板上后再次形成绝缘材料膜，背板很不方便再利用。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】专利公开2010－255052号公报

发明内容

发明要解决的问题

鉴于以上情况，本发明的课题是提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。

解决技术问题的手段

为解决上述技术问题，本发明的靶组件具有绝缘材料靶和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板。

采用本发明，由于通过围绕在靶周围的环形绝缘板覆盖延伸部分的靶侧的面，绝缘板和靶侧面之间存在规定的间隙，所以可防止等离子体中的电子通过该间隙使延伸部分带电，抑制异常放电的发生，从而能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出。并且，由于绝缘板是装卸自如的，所以在更换靶时，只要从背板上取下绝缘板，去除粘接材料就能很容易地将已使用完的靶和背板分离，不像上述在先申请那样需要去除或再形成绝缘材料膜，背板很容易再利用。