[发明专利]靶组件

权利要求书

1.一种靶组件，其具有绝缘材料靶，以及通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，其特征在于：

在组装到溅射装置上的状态下，配置了与靶侧面之间留出规定间隙并围绕靶的周围的环状屏蔽板；

还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖所述延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板；

在面向靶和屏蔽板之间的间隙的绝缘板的内周边部上具有朝向靶侧凸出设置的凸条。

2.根据权利要求1所述的靶组件，其特征在于：

绝缘板具有在圆周方向上留出间距开设的多个通孔，通过与各通孔的内壁之间留出间距而插设在通孔内的间隔件固定在背板上，以绝缘板的背板侧为上，在间隔件的下端部设置有朝径向外侧伸出的凸缘部，该凸缘部的上表面与绝缘板的下表面抵接。

3.根据权利要求2所述的靶组件，其特征在于：

绝缘板分成多个圆弧形部件，在各圆弧形部件的圆周方向一端处具有下部比上部突出的第一阶梯部，在圆周方向另一端处还设置有上部比下部突出的第二阶梯部，相邻的圆弧形部件的第一阶梯部和第二阶梯部的阶梯面彼此抵接。