[发明专利]多层配线板、显示装置以及电子装置有效
申请号: | 201580064624.2 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN107003256B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 渡边秋彦 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G09F9/00;H01L31/02;H01L33/62;H05K3/46 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;李慧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层 线板 显示装置 以及 电子 装置 | ||
为了解决如下问题,其中:如果在包括紫外线的可见范围内使用具有高透光率的材料形成在多层配线结构中的配线之间设置绝缘层,则在上层配线缺陷的外观检查期间,下层配线也被识别,并且因此在检查上层配线时变成的噪声,并且结果,检查精度降低并且阻碍了制造产量和可靠性的提高,根据本公开内容的多层配线板设置有:基板;以及设置在基板上的第一配线和第二配线,在其间设置具有透光性的绝缘层,并且第一配线和第二配线中的至少一个受到了致黑、致黑与粗加工交替、蚀刻以及电镀中的一种的表面工艺。
技术领域
本技术涉及多层配线基板,其中,在多个配线层之间叠有具有透光性绝缘层;显示单元,其设置有多层配线基板;以及电子设备。
背景技术
高亮度显示单元使其外围构件直接或间接暴露于具有高强度的光。因此,需要例如在发光装置的正上方或下方形成的绝缘层,以抵抗紫外范围内的光。作为示例,如在PTL1和PTL 2中所述,使用含有紫外线的在可见范围内具有高透光率的材料。
电子设备具有越来越多的配线和复杂的电路,以便提高其性能。具体地,显示单元和其他装置具有更复杂的电路,例如,其包含很多薄膜晶体管(TFT)和配线电路以及大面积的电容元件。除此之外,清晰度的增加导致了像素数量的增加,从而驱动以高密度地提供配线层的趋势,在配线层中形成了驱动配线、信号线等。在这种情况下,短路的发生增加,并且制造产量下降。为了解决这个问题,采用了在其间将配线层与绝缘层层叠的所谓的多层配线结构,在配线层中形成了驱动线、信号线等。
引用列表
专利文献
[PTL 1]日本未审查专利申请公开No.2002-270898
[PTL 2]日本未审查专利申请公开No.2003-115613
发明内容
然而,对于在上述多层配线结构中的配线之间设置的绝缘层,可以如上所述使用含有紫外线的在可见范围内具有高透光率的材料。在可见光中具有高透光率的材料可以是例如透明绝缘材料。在这种情况下外观检查上层的缺陷时,可以一起识别上层和下层中的配线。在这种情况下,下层可能是用于检查上层配线的噪声,降低了检查精度。这种降低的检查精度阻碍了制造产量和可靠性的提高。
期望的是提供一种能够提高其制造产量和可靠性的多层配线基板、显示单元以及电子设备。
根据该技术的实施方式的多层配线基板包括:基板;以及设置在基板上的第一配线和第二配线,在其间配设有具有透光性的绝缘层,并且第一配线和第二配线中的一者或两者受到了表面处理。
根据该技术的实施方式的显示单元包括在本技术的上述多层配线基板上的发光装置。
根据该技术的实施方式的电子设备包括在本技术的上述多层配线基板上的电子装置。
在根据本技术的实施方式的多层配线基板、显示单元以及电子设备中的每一个中,设置有具有透光性的绝缘层的第一配线和第二配线中的一者或两者受到了表面处理。这提高了光信噪比,提高了检查精度。
在根据本技术的实施方式的以上多层配线基板、显示单元和电子设备中的每一个中,在其间设置有具有透光性的绝缘层的第一配线和第二配线中的一者或两者受到了表面处理。这提高了光信噪比,提高了检查精度。因此,可以提供显示单元和电子设备,它们中的每个包括提高制造产量的高度可靠的多层配线基板。应当注意,上述效果不是限制性的,并且可以提供本公开内容中描述的任何效果。
附图说明
[图1]图1是根据本公开内容的实施方式的多层配线基板的剖视图;
[图2A]图2A是图1所示的多层配线基板的示意性平面图;
[图2B]图2B是比较示例中的多层配线基板的示意平面图;
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