[发明专利]氧化物的前驱体、氧化物层、半导体元件以及电子装置

说明书

本发明提供当通过印刷法形成电子装置或半导体元件可采用的薄膜时能控制牵丝性的脂肪族聚碳酸酯、氧化物的前驱体、及氧化物层。本发明之一的氧化物的前驱体是在含有分子量为6千以上且40万以下的脂肪族聚碳酸酯比率为该脂肪族聚碳酸酯全体的80质量％以上的前述脂肪族聚碳酸酯构成的粘结剂(可含不可避免的杂质)的溶液中，分散有在被氧化时成为金属氧化物的金属的化合物的物质。结果如图1所示，可形成可用于半导体元件的制造的良好图案。

技术领域

本发明涉及氧化物的前驱体、氧化物层、半导体元件、电子装置以及氧化物层的制造方法及半导体元件的制造方法。

背景技术

以往，作为电子装置一例的薄膜晶体管的通道层，主要使用多晶硅膜或非晶硅膜。然而，多晶硅膜的情况，因在多晶粒子界面发生的电子散射，导致电子迁移率受限制，结果晶体管特性发生变动。另外，非晶硅膜的情况，存在电子迁移率极低，元件随时间而劣化，元件可靠度极低这样的问题。所以，聚焦关注于电子迁移率高于非晶硅膜、且与多晶硅膜相比晶体管特性变动少的氧化物半导体。另外，因为不仅氧化物半导体，而且由氧化物构成的氧化物导电体或氧化物绝缘体也是例如仅基于氧化物的电子装置的实现所不可或缺技术要件，因而产业界对上述氧化物的关注极高。

最近，正盛行尝试利用印刷法等低能量制造工艺在挠性树脂基板上制作电子装置。通过采用印刷法等，可直接在基板上将半导体层图案化，结果具有能省略用以施行图案化的蚀刻处理步骤的优点。

例如，如专利文献1～3所记载，进行了使用导电性高分子、有机半导体等制作涂布挠性电子装置的尝试。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-134547号公报

专利文献2：日本特开2007-165900号公报

专利文献3：日本特开2007-201056号公报

非专利文献

非专利文献1：SID 2015DIGEST,p.1135

发明内容

本发明所要解决的课题

各种形态信息终端和信息家电被产业界及消费者需求的过程中，半导体需要更高速作动、长时间稳定，且是低环境负载。然而，在以往技术中，通常采用例如使用真空工艺、光刻法的工艺这样的需要较长时间和/或高价设备的工艺，因此原材料、制造能量的使用效率非常差。此情况就从工业性到量产性的观点出发是非优选的。另一方面，现状下，针对至今作为主流使用的硅半导体或其他半导体，极难利用凹版印刷、网版印刷、平版印刷、喷墨印刷等印刷法形成层。另外，即便采用专利文献1～3所记载的导电性高分子、有机半导体等的情况，其电气物性及稳定性仍不充分。另外，本申请中的“层”不仅局限于“层”，还包含“膜”的概念。反之，本申请的“膜”并不仅局限于“膜”，还包含“层”的概念。

然而，从电子装置的挠性化、及上述工业性到量产性的观点出发，目前，产业界极力聚焦于利用上述各种印刷法进行层形成、以及使用功能性溶液或功能性糊状物制造的各种半导体元件及电子装置。