[发明专利]基板切断装置及基板切断方法

权利要求书

1.一种基板切断装置，为用以从基板的一面及另一面切断前述基板的基板切断装置，其特征在于具备：

第1刀具，具有用以从前述一面切断前述基板的多片第1旋转刃；

第2刀具，具有用以从前述另一面切断前述基板的多片第2旋转刃；

第1旋转驱动手段，用以旋转驱动前述第1刀具；

第2旋转驱动手段，用以旋转驱动前述第2刀具；

刀具支持手段，以旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；

相位调整手段，用以调整前述第1刀具及前述第2刀具的至少一个相位，使前述第2旋转刃在前述第1刀具与前述第2刀具相对的对向区域位于相邻的2片前述第1旋转刃间；

Y方向驱动手段，用以使前述第1刀具及前述第2刀具和前述刀具支持手段一起移动于Y方向；以及

Z方向驱动手段，使前述第1刀具位在从前述基板的一面侧切断该基板的位置，且使前述第2刀具位在从前述基板的另一面侧切断该基板的位置。

2.根据权利要求1所述的基板切断装置，其特征在于具备:用以使前述第1刀具及前述第2刀具在前述基板的切断方向对着前述基板相对移动的X方向驱动手段。

3.根据权利要求1或2所述的基板切断装置，其特征在于:

前述第1旋转驱动手段具有第1电动机，

前述第2旋转驱动手段具有第2电动机，

前述相位调整手段具有控制部，用以控制前述第1电动机及前述第2电动机的至少一个，

前述控制部为控制前述第1电动机及前述第2电动机的至少一个，使前述第2旋转刃在前述对向区域位于相邻的2片前述第1旋转刃间。

4.根据权利要求3所述的基板切断装置，其特征在于，

前述多片第1旋转刃和前述多片第2旋转刃为相同数量且以相同倾角设置，

前述相位调整手段具有用以检测前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的相位检测部，

前述控制部为以前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的差达到从前述倾角的整数倍减去1/2倾角所得的值的方式，控制前述第1电动机及前述第2电动机的至少一个。

5.一种基板切断方法，为用以使用权利要求1至4中任一项所述的基板切断装置从基板的一面及另一面切断前述基板的基板切断方法，其特征在于包括下列步骤:

(a)将具有用以从前述基板的一面切断前述基板的多片第1旋转刃的第1刀具以及具有用以从前述基板的另一面切断前述基板的多片第2旋转刃的第2刀具，以旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式配置；

(b)以前述第2旋转刃在前述第1刀具和前述第2刀具相对的对向区域位于相邻的2片前述第1旋转刃间的方式，使前述第1刀具及前述第2刀具旋转；以及

(c)控制Y方向驱动手段将前述第1刀具及前述第2刀具定位在切断的起点，并在前述基板的切断方向，一边使前述第1刀具及前述第2刀具对着前述基板相对移动，前述第1刀具及前述第2刀具一边各自切断前述基板。