[发明专利]光学传感器、光学测试设备以及光学特性检测方法

权利要求书

1.一种光学传感器，包括：

发射系统，包含将光发射到对象上的至少一个光发射装置；以及

检测系统，检测已经由所述发射系统发射并且已经通过所述对象传播的光，

其中所述光发射装置能够将具有不同波长的多个光束发射到所述对象的基本相同的位置上，

其中，所述光发射装置包含各自发射具有不同波长的各个光束的多个光源、布置在所述光源发射的各个光束的光路上的多个单独的光学元件，并且所述多个单独的光学元件的焦点不重合，

其中所述多个光源的每个光源包含以阵列方式布置的多个光发射单元，以及

其中所述每个光源的多个光发射单元与对应于所述每个光源的单独的光学元件的光轴之间的位置关系在所述多个光源之间不同。

2.根据权利要求1所述的光学传感器，

其中，所述光发射装置还包含公共光学元件，所述公共光学元件公共布置在经过所述多个单独的光学元件的具有不同波长的所述光束的所述光路上，以及

其中经过所述公共光学元件的具有不同波长的所述多个光束的所述光路基本相同。

3.根据权利要求2所述的光学传感器，

其中所述公共光学元件包含反射表面，所述反射表面反射经过所述多个单独的光学元件的具有不同波长的所述多个光束，以及

其中具有不同波长的所述多个光束的所述光路从所述多个单独的光学元件至所述反射表面不平行。

4.根据权利要求3所述的光学传感器，

其中当所述光路变得与所述反射表面更接近时，从所述多个单独的光学元件至所述反射表面的具有不同波长的所述多个光束的所述光路变得更接近。

5.根据权利要求3或4所述的光学传感器，

其中由所述反射表面反射的具有不同波长的所述多个光束在所述光发射装置的发射端附近相交。

6.根据权利要求3或4所述的光学传感器，

其中从由所述反射表面反射的具有不同波长的所述多个光束中选择的任意两个光束的两个光路形成的角度等于或小于10度。

7.根据权利要求6所述的光学传感器，

其中所述角度等于或小于1度。

8.根据权利要求1所述的光学传感器，

其中所述多个光源中的至少一个的中心从所述对应的单独的光学元件的光轴上的位置移位。

9.根据权利要求1或8所述的光学传感器，

其中所述光源为表面发射激光器阵列。

10.根据权利要求2至4中任一项所述的光学传感器，

其中具有与所述单独的光学元件基本相同的折射率的透明树脂填充在所述单独的光学元件和所述光源之间。

11.根据权利要求2至4中任一项所述的光学传感器，

其中所述单独的光学元件的形状具有面向所述光源的凸表面。

12.一种光学测试装置，包括：

根据权利要求1至4中任一项所述的光学传感器；以及

光学特性计算单元，配置为基于所述光学传感器中的检测结果来计算所述对象的光学特性。

13.一种通过使用根据权利要求1至4中任一项所述的光学传感器来检测对象的光学特性的光学特性检测方法，所述方法包括：

计算所述对象对光的灵敏度分布的步骤；以及

通过解决基于所述灵敏度分布的逆向问题来计算所述对象的光学特性的步骤。