[发明专利]打线接合用球形成装置

说明书

本发明提供一种打线接合用球形成装置，可自由变更球的形成过程中的放电电压值。在金属线(31)的前端部与用于流通绝缘破坏后的放电电流的放电继续用电源(3)的其中一电极之间，配置对放电电流进行控制的第1电流控制电路(4)，在放电电极与放电继续用电源(3)的另一电极之间，配置对放电电流的分流进行控制的第2电流控制电路(10)，在第2电流控制电路(10)并联连接作为分流器的固定电阻(11)，且控制流通至第2电流控制电路(10)的电流而自由变更放电电压值。由此，即便放电状态产生变化，也可将放电电压值维持在固定状态，从而可稳定地形成初始球。

技术领域

本发明是涉及一种利用放电能量(energy)在金属线(wire)的前端形成球(ball)的打线接合(wire bonder)用球形成装置，尤其是涉及一种可自由变更球的形成过程中的放电电压值的打线接合用球形成装置。

背景技术

在现有上，在使用包含金线、铜等的金属线，将成为第1接合点的集成电路(Integrated Circuit，IC)芯片(chip)上的电极(衬垫(pad))与成为第2接合点的引线(lead)连接的打线接合(打线接合装置)中，首先，通过对自瓷嘴(capillary)送出的金属线的前端与放电电极之间施加高电压而产生放电，利用该放电能量使金属线的前端部熔融而在插通于瓷嘴内的金属线的前端形成球。另外，将利用放电而形成于金属线的前端的球称为初始球(initial ball)。

图8是以方块图表示用于对自瓷嘴送出的金属线的前端与放电电极之间施加高电压而在瓷嘴的前端形成球的现有的打线接合用球形成装置的构成。

如图8所示，现有的打线接合用球形成装置45包括：绝缘破坏用电源54，产生用于将金属线31与放电电极33之间的绝缘破坏的高电压；高电压产生部50，产生用于流通绝缘破坏后的放电电流的高电压；以及定电流开闭器51，对位于瓷嘴32的前端的金属线31与放电电极33之间流动的放电电流进行控制。

绝缘破坏用电源54产生用于将金属线31与放电电极33之间的绝缘破坏的高电压，在绝缘破坏后，以“断开(off)”的方式进行动作。另外，高电压产生部50在金属线31与放电电极33之间的绝缘破坏时与绝缘破坏用电源54同时地“导通(on)”，且在绝缘破坏后也以产生高电压的方式进行动作。

高电压产生部50的正极端子(+)经由定电流开闭器51自夹持器(clamper)30对插通于作为接合工具(bonding tool)的瓷嘴32内的金属线31施加正极电压。

另一方面，高电压产生部50的负极端子(-)对放电电极33施加负极电压。另外，在高电压产生部50的负极端子(-)与放电电极33之间，插入有用于使放电稳定的放电稳定化电阻34。另外，图8所示的端子c与夹持器30之间、以及端子d与包含放电稳定化电阻34的放电电极33之间是以缆线(cable)连接。

在图8所示的定电流开闭器51中，连接有定时器电路(timer circuit)52，所述定时器电路52用于进行内置于定电流开闭器51的开关电路(switch circuit)(未图示)的开闭控制，且该定时器电路52被施加作为放电开始信号的触发信号(trigger signal)Tr。

定时器电路52构成为具有设定放电时间的定时器，利用来自外部的触发信号Tr而启动定时器。利用该触发信号Tr，定时器电路52进行“导通”动作，定电流开闭器51的开关电路关闭，在金属线31与放电电极33之间的绝缘破坏后电流流动，经过规定的放电时间后，利用定时器电路52的“断开”动作，开关电路打开而阻断电流。在该定时器电路52进行“导通”的期间，定电流开闭器51以使放电电极33与金属线31之间流通定电流的方式进行控制。