[发明专利]打线接合用球形成装置有效

专利信息
申请号: 201580057746.9 申请日: 2015-05-03
公开(公告)号: CN107078070B 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 樱井祐辅 申请(专利权)人: 华祥股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本东京*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 电流控制电路 放电电流 放电电压 球形成装置 打线接合 电极 放电 电源 变更 并联连接 放电电极 放电状态 固定电阻 固定状态 绝缘破坏 控制流通 分流器 金属线 前端部 配置 自由 分流 流通
【权利要求书】:

1.一种打线接合用球形成装置,通过对自瓷嘴前端送出的金属线的前端部与放电电极之间施加高电压而产生放电,利用所述放电的能量使所述金属线的所述前端部熔融而形成球,所述打线接合用球形成装置的特征在于,

在所述金属线的所述前端部与用于流通绝缘破坏后的放电电流的放电继续用电源的其中一电极之间,配置对所述放电电流进行控制的第1电流控制电路,

在所述放电电极与所述放电继续用电源的另一电极之间,配置对所述放电电流的分流进行控制的第2电流控制电路,且

在所述第2电流控制电路,并联连接有作为分流器的固定电阻。

2.根据权利要求1所述的打线接合用球形成装置,其特征在于,所述打线接合用球形成装置通过减少流通至所述第2电流控制电路的电流,提高所述金属线的所述前端部与所述放电继续用电源的所述另一电极之间的放电电压值,通过增加所述电流,降低所述放电电压值。

3.根据权利要求2所述的打线接合用球形成装置,其特征在于,通过控制流通至所述第2电流控制电路的电流,而将自所述绝缘破坏后至放电结束为止的所述放电电压值设为固定。

4.根据权利要求1或2所述的打线接合用球形成装置,其特征在于,所述打线接合用球形成装置在放电中一面使所述金属线的所述前端部与所述放电电极之间的放电电流值衰减,一面将所述金属线的所述前端部与所述放电继续用电源的所述另一电极之间的放电电压值控制为固定,由此维持所述放电。

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