[发明专利]用于在工厂介面处净化基板载具的系统、设备及方法

权利要求书

1.一种用于在工厂介面(FI)或设备前端模组(EFEM)的装载端口处净化基板载具的套组，所述套组包括：

框架，所述框架经配置以坐落在装载端口门附近而不干扰所述工厂介面或设备前端模组机器人的运作；

一或更多个基板间喷嘴阵列，所述基板间喷嘴阵列由所述框架支撑且经配置以喷射气体到基板载具中，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列具有可调整的瞄准角度和可调整的扩张角度；及

一或更多个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列由所述框架支撑且经配置以喷射气体横越所述基板载具的开口。

2.如权利要求1所述的套组，其中所述套组经配置以被加到现行的工厂介面或设备前端模组。

3.如权利要求1所述的套组，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列包含两个基板间喷嘴阵列，所述基板间喷嘴阵列的每一个垂直设置在所述基板载具的所述开口的侧边上。

4.如权利要求1所述的套组，其中所述一或更多个布幕喷嘴阵列包含一个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列垂直设置在所述基板载具的所述开口的侧边上。

5.如权利要求1所述的套组，其中所述一或更多个布幕喷嘴阵列包含一个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列水平设置在所述基板载具的所述开口的顶部侧边或底部侧边上。

6.如权利要求5所述的套组，其中所述布幕喷嘴阵列经配置以垂直喷射气体横越所述基板载具的所述开口。

7.如权利要求1所述的套组，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列的每一个包含两个喷嘴，以用于所述基板载具内的每个凹槽。

8.一种用于净化基板载具的系统，所述系统包括：

装载端口，所述装载端口包括门，且所述装载端口经适配以接收基板载具；

框架，所述框架经配置以坐落在所述装载端口的所述门附近，而不干扰工厂介面(FI)或设备前端模组(EFEM)机器人的运作；

一或更多个基板间喷嘴阵列，所述基板间喷嘴阵列由所述框架支撑且经配置以喷射气体到所述基板载具中，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列具有可调整的瞄准角度和可调整的扩张角度；及

一或更多个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列由所述框架支撑且经配置以喷射气体横越所述基板载具的开口。

9.如权利要求8所述的系统，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列包含两个基板间喷嘴阵列，所述基板间喷嘴阵列的每一个垂直设置在所述基板载具的所述开口的侧边上。

10.如权利要求8所述的系统，其中所述一或更多个布幕喷嘴阵列包含一个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列垂直设置在所述基板载具的所述开口的侧边上。

11.如权利要求8所述的系统，其中所述一或更多个布幕喷嘴阵列包含一个布幕喷嘴阵列，所述布幕喷嘴阵列水平设置在所述基板载具的所述开口的顶部侧边或底部侧边上。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述布幕喷嘴阵列经配置以垂直喷射气体横越所述基板载具的所述开口。

13.如权利要求8所述的系统，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列的每一个包含两个喷嘴，以用于所述基板载具内的每个凹槽。

14.一种在装载端口处净化基板载具的方法，所述方法包括以下步骤：

将基板载具传送至装载端口并打开所述载具的门；

随着所述载具门被打开，以气流喷射所述基板载具，且所述载具内的基板被映射；

基于基板映射来决定处理净化状态；及

利用所决定的处理净化状态的预定喷射状态配置，启动一或更多个基板间喷嘴阵列及一或更多个布幕喷嘴阵列，其中所述一或更多个基板间喷嘴阵列具有可调整的瞄准角度和可调整的扩张角度。

15.如权利要求14所述的方法，进一步包括以下步骤：

随着基板从所述基板载具增加或移除，将所述喷射状态配置切换至装载喷射状态配置或卸载喷射状态配置；

随着基板从所述基板载具增加和移除，更新所述基板映射；

基于所更新的基板映射，决定新的处理净化状态；及

利用所决定的新处理净化状态的预定喷射状态配置，启动一或更多个基板间喷嘴阵列及一或更多个布幕喷嘴阵列。