[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，用于在均具有第一面及第二面的多个基板中的每个基板的所述第一面及所述第二面中的每一面上形成膜，所述成膜装置具备：

腔室；

保持部，所述保持部具有彼此位于相反侧上的第一夹具及第二夹具并且构成为，在所述腔室中，由所述第一夹具保持第一基板的所述第二面一侧，由所述第二夹具保持第二基板的所述第一面一侧；

驱动部，用于移动保持所述基板的所述保持部，使得分别由所述第一夹具和第二夹具保持的所述第一基板和第二基板通过所述腔室中的成膜区域；

第一成膜部，用于在由所述第一夹具所保持的第一基板的第一面上形成膜；

第二成膜部，用于在由所述第二夹具所保持的第二基板的第二面上形成膜；

操作机构，用于当在所述第一基板的第二面一侧由所述第一夹具所保持的情况下由第一成膜部在所述第一基板的第一面上形成膜之后操作所述第一基板使得所述第一基板的第一面一侧由所述第二夹具所保持；以及

冷却部，用于冷却所述保持部。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其中，所述冷却部包含配置于所述保持部中的冷媒流路、用于向所述冷媒流路供应冷媒的供应部。

3.如权利要求2所述的成膜装置，进一步具备：

一端连接于设在所述腔室的开口、另一端由闭塞构件所闭塞的波纹管；以及

用于将所述保持部与所述闭塞构件连接的中空构件；

其中，所述供应部经由所述中空构件从所述腔室的外部向所述保持部供应冷媒。

4.如权利要求3所述的成膜装置，进一步具备用于随着所述驱动部移动所述保持部的操作而移动所述闭塞构件的第二驱动部。

5.如权利要求1所述的成膜装置，其中，所述驱动部使所述保持部沿着平行于所述第一基板和第二基板中的每个基板的处理目标面的移动路径而移动。

6.如权利要求5所述的成膜装置，其中，所述第一成膜部和第二成膜部在以下两种情形下均在所述第一基板和第二基板上形成膜：所述第一基板和第二基板沿着所述移动路径沿第一方向移动；以及所述第一基板和第二基板沿着所述移动路径沿与所述第一方向相反方向的第二方向移动。

7.如权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述第一成膜部和第二成膜部同时将膜形成于由所述第一夹具所保持的第一基板的第一面和由所述第二夹具所保持的第二基板的第二面上。

8.如权利要求1所述的成膜装置，其中，所述保持部包含分离部，所述分离部用于将所述第一成膜部一侧的空间与所述第二成膜部一侧的空间分离，使得在形成膜期间在所述保持部的可动范围中所述第一成膜部与所述第二成膜部不会面对彼此。

9.如权利要求8所述的成膜装置，其中，所述分离部将所述第一成膜部一侧的空间与所述第二成膜部一侧的空间分离，使得在形成膜期间在所述保持部的可动范围的整个范围所述第一成膜部与所述第二成膜部不会面对彼此。

10.如权利要求1所述的成膜装置，具备：

搬送机构，用于在所述保持部与所述操作机构之间搬送所述第一基板及所述第二基板，其中，

所述驱动部使所述保持部沿着移动路径移动；

所述搬送机构将所述第一基板及所述第二基板沿与所述移动路径平行的方向搬送；

所述操作机构被构成为使一容器移动，并且在所述搬送机构从所述保持部的所述第一夹具所搬送来的所述第一基板被收容于所述容器的状态下使所述容器沿与所述移动路径正交的方向移动；以及

在从所述第一夹具所搬送来的所述第一基板被收容于所述容器的状态下所述容器通过所述操作机构的移动以所述第一基板通过所述搬送机构从所述容器搬送至所述第二夹具的方式进行。

11.如权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一成膜部和第二成膜部构成为能够将多种膜形成于所述第一基板和第二基板上。