[发明专利]五氯乙硅烷的制造方法以及采用该方法制造的五氯乙硅烷

权利要求书

1.五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，具备：

高温反应工序，其中，在高温下使包含气化的四氯硅烷和氢气的原料气体反应，得到包含三氯硅烷的反应生成气体；

五氯乙硅烷生成工序，其中，使高温反应工序中得到的反应生成气体与使通过该反应生成气体的冷却而产生的凝结液循环冷却而得到的冷却液接触而急冷，使五氯乙硅烷在凝结液中生成；和

回收工序，其中将生成的五氯乙硅烷回收。

2.根据权利要求1所述的五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，在五氯乙硅烷生成工序中，向冷却液和/或冷凝液中追加添加四氯硅烷，另外将冷却液和/或冷凝液抽出至循环体系外而作为抽出液回收，调节抽出液中所含的五氯乙硅烷的浓度、每单位时间生成的质量。

3.根据权利要求2所述的五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，在回收工序中，对抽出液进行蒸馏，得到纯度为90质量％以上的五氯乙硅烷。

4.根据权利要求2所述的五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，在回收工序中，在具有加热装置的蒸馏装置中回收抽出液，加热而生成蒸发气体，将该气体导入浓缩塔，将三氯硅烷和四氯硅烷除去，得到含有五氯乙硅烷的液体。

5.根据权利要求4所述的五氯乙硅烷的制造方法，其特征在于，对由浓缩塔得到的含有五氯乙硅烷的液体进一步蒸馏，得到纯度为90质量％以上的五氯乙硅烷。

6.采用根据权利要求5所述的方法制造的纯度为90质量％以上的五氯乙硅烷。