[发明专利]容器收纳装置

权利要求书

1.一种容器收纳装置，其收纳多个存积有半导体制造用的处理液的容器，所述容器收纳装置的特征在于，包括：

载置所述容器的多个载置台；

检测所述容器内的处理液的液量的液量检测机构；和

移动部件，其为相对于所述载置台另外设置的部件，配置在阻碍为了更换所述载置台上的所述容器而使该容器从所述载置台移动的位置，且在由所述液量检测机构检测出的所述容器内的处理液的液量低于规定的值时相对于所述载置台上的容器的相对位置发生变化，从阻碍用于更换所述容器的移动的位置退避，

所述移动部件相对于所述载置台上的容器的相对位置，与由所述液量检测机构检测出的液量相应地发生变化。

2.如权利要求1所述的容器收纳装置，其特征在于：

所述液量检测机构是根据载置于所述载置台的容器的重量而使高度方向的位置发生位移的位移机构，

所述位移机构连接有位移传递部件，所述位移传递部件将该位移机构的位置变化传递至所述移动部件而使该移动部件移动。

3.如权利要求1所述的容器收纳装置，其特征在于：

所述液量检测机构包括根据载置于所述载置台的容器的重量而使内部的气体体积发生变化的空气气囊，

所述空气气囊与气缸机构连接，所述气缸机构根据该空气气囊内部的气体体积使所述移动部件移动。

4.如权利要求1～3中任一项所述的容器收纳装置，其特征在于：

所述移动部件是在所述容器的侧方在上下方向上移动的阻挡件。

5.如权利要求1～3中任一项所述的容器收纳装置，其特征在于：

所述移动部件在所述容器内的处理液的液量为规定的值以上时，以阻碍所述容器的上下方向的移动的方式位于所述容器的上方，在所述容器内的处理液的液量低于规定的值时，移动到从所述容器的上方退避的位置。

6.一种容器收纳装置，其收纳多个存积有半导体制造用的处理液的容器，所述容器收纳装置的特征在于，包括：

载置所述容器的多个载置台；

移动部件，其为相对于所述载置台另外设置的部件，配置在阻碍为了更换所述载置台上的所述容器而使该容器从所述载置台移动的位置；

驱动机构，其使所述移动部件移动；

流量检测机构，其检测从所述容器向外部供给的处理液的流量；和

控制部，其在所述流量检测机构的检测流量低于规定的值时，以使所述移动部件从阻碍用于更换所述容器的移动的位置退避的方式控制所述驱动机构。